可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法

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	可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法
其他题名	可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法
	余力强; 梁松; 赵玲娟; 张灿; 吉晨
	2014-05-07
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2014-05-07
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯，管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层，在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导，在该脊波导之外的区域不具有光栅盖层、包层和电接触层；管芯按照在第一方向上的位置分为依次紧邻的光栅区、相区和增益区；在光栅区的脊波导之外的区域，还不具有下波导层、有源区层和上波导层；在光栅区的上波导层的表层具有布拉格光栅。本发明能将波长调谐范围可增大至12nm，既降低了制作工艺的复杂性，同时还能保证产品的成品率和出光功率。
其他摘要	本发明公开了一种可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法。激光器包括管芯，管芯依次包括衬底、下波导层、有源区层、上波导层、光栅盖层、包层、电接触层，在垂直于各层的叠置方向的水平面的第一方向上延伸有一个脊波导，在该脊波导之外的区域不具有光栅盖层、包层和电接触层；管芯按照在第一方向上的位置分为依次紧邻的光栅区、相区和增益区；在光栅区的脊波导之外的区域，还不具有下波导层、有源区层和上波导层；在光栅区的上波导层的表层具有布拉格光栅。本发明能将波长调谐范围可增大至12nm，既降低了制作工艺的复杂性，同时还能保证产品的成品率和出光功率。
申请日期	2014-01-21
专利号	CN103779785A
专利状态	授权
申请号	CN201410027833.7
公开（公告）号	CN103779785A
IPC 分类号	H01S5/22 \| H01S5/125 \| H01S5/042
专利代理人	宋焰琴
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/89957
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	余力强,梁松,赵玲娟,等. 可实现波长宽调谐的分布反射布拉格激光器及其制作方法. CN103779785A[P]. 2014-05-07.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN103779785A.PDF（494KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文