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Semiconductor laser device
其他题名Semiconductor laser device
HIRAYAMA FUKUICHI; NAKANO MUNEAKI; WADA MASARU
1988-07-26
专利权人MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
公开日期1988-07-26
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To inject efficiently an electric current into a groove part by forming chemical compound semiconductor layers consisting of the first clad layer, an active layer, the second clad layer as well as a top layer having a forbidden band which is broader than that of a semiconductor on a semiconductor substrate having two parallel protruding parts and by forming a zinc diffused region that reaches the second clad layer after passing through the top layer. CONSTITUTION:Two parallel ridges are formed on an N-type GaAs substrate 1 by interposing a groove between two ridges. The first clad layer 3 of an N-type Ga0.55Al0.44As, an active layer 4 of a non-doped Ga0.92Al0.08As, the second clad layer 5 of a P-type Ga0.56Al0.44As, a top layer 6 of an N-type Ga0.9Al0.1As grow in sequence on the ridges as the first, the second, the third, and the fourth layers respectively. After a V-shaped groove 7 is formed at the top layer 6 of the fourth layer located right above this groove, zinc is diffused on the whole plane of this layer and a zinc diffused region 7 is formed. After that, a P-side ohmic electrode 8 and an N-side ohmic electrode 9 are formed. A prepared wafer is cloven and a laser device is obtained.
其他摘要目的:通过形成由第一覆层,有源层,第二覆层以及具有比a宽带的禁带的顶层构成的化合物半导体层,有效地将电流注入凹槽部分。半导体衬底上的半导体具有两个平行的突出部分,并且通过形成在穿过顶层之后到达第二覆层的锌扩散区域。组成:通过在两个脊之间插入一个凹槽,在N型GaAs衬底1上形成两个平行的脊。 N型Ga0.55Al0.44As的第一包层3,非掺杂Ga0.92Al0.08As的有源层4,P型Ga0.56Al0.44As的第二包层5,顶层6个N型Ga0.9Al0.1As分别在脊上分别作为第一,第二,第三和第四层生长。在位于该凹槽正上方的第四层的顶层6处形成V形凹槽7之后,锌在该层的整个平面上扩散,并形成锌扩散区域7。之后,形成P侧欧姆电极8和N侧欧姆电极9。制备的晶片是偶然的并且获得激光装置。
申请日期1987-01-23
专利号JP1988181495A
专利状态失效
申请号JP1987014683
公开(公告)号JP1988181495A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/88203
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
HIRAYAMA FUKUICHI,NAKANO MUNEAKI,WADA MASARU. Semiconductor laser device. JP1988181495A[P]. 1988-07-26.
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JP1988181495A.PDF(143KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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