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半導体素子および半導体発光素子
其他题名半導体素子および半導体発光素子
小林 俊雅; 宮嶋 孝夫; 小沢 正文
1999-05-11
专利权人ソニー株式会社
公开日期1999-05-11
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 電極の密着性を改善することができる半導体素子を提供する。 【解決手段】 サファイアよりなる基板10の上にIII族ナイトライド化合物半導体よりそれぞれなるn側コンタクト層13,n型クラッド層14,活性層15,p型クラッド層16,p側コンタクト層17を順次積層する。p側コンタクト層17の上には絶縁膜18の開口18aを介してp側電極19が形成され、p側電極19および絶縁層18の上にはp側電極19の全面を覆うようにコンタクト用電極20が形成される。p側電極19はNiを含む金属により構成し、コンタクト用電極20はTiを含む金属により構成する。p側電極19によりオーミック接触を確保し、コンタクト用電極20によりp側電極19の密着性を補強する。
其他摘要要解决的问题:提供一种可以改善电极附着力的半导体元件。解决方案:分别由III族氮化物化合物半导体制成的n侧接触层13,n型覆层14,有源层15,p型覆层16和p侧接触层17另外,P侧电极19通过绝缘膜18的开口18a形成在p侧接触层17上,并且用于接触的电极20形成在p侧电极19上。绝缘层18覆盖电极19的整个表面。电极19由含Ni的金属构成,电极20由含Ti的另一种金属构成。借助于电极19固定欧姆接触,并且借助于电极20增强电极19的粘附性。
申请日期1997-10-24
专利号JP1999126947A
专利状态失效
申请号JP1997293035
公开(公告)号JP1999126947A
IPC 分类号H01L33/40 | H01S5/323 | H05K5/02 | H01S5/343 | G11B19/16 | H01S5/042 | H01L33/32 | H01S5/00 | H01L33/44 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人藤島 洋一郎
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/87025
专题半导体激光器专利数据库
作者单位ソニー株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小林 俊雅,宮嶋 孝夫,小沢 正文. 半導体素子および半導体発光素子. JP1999126947A[P]. 1999-05-11.
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