Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
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其他题名 | - |
SAWAI MASAAKI | |
1987-08-14 | |
专利权人 | HITACHI LTD |
公开日期 | 1987-08-14 |
授权国家 | 日本 |
专利类型 | 授权发明 |
摘要 | PURPOSE:To prevent contamination of the surface of a laser diode and to improve the yield thereof with reverse voltage malfunction reduced by protecting a P-N junction exposed surface at least by a CVD SiO2 film. CONSTITUTION:A surface A-A' is formed as laser beam oscillating confronting surface with an SiO2 film 7 formed by sputtering in a chip having an N type GaAs crystal 1 as a main body, and an SiO2 film 8 is formed by a CVD process (Vapor phase chemical reaction accumulation) on the opposite surface B-B' in parallel with the laser beam. Since the P-N junction exposed surface is coated at least by the protective film on the chip, the reliability of the diode can be improved. |
其他摘要 | 用途:为了防止激光二极管表面的污染,并通过至少通过CVD SiO2膜保护P-N结暴露表面,降低反向电压误差,从而提高其产量。组成:表面AA'形成为激光束振荡面对表面,在具有N型GaAs晶体1作为主体的芯片中通过溅射形成SiO2薄膜7,并且通过CVD工艺形成SiO2薄膜8(蒸汽在与激光束平行的相对表面BB'上的相化学反应积累。由于P-N结暴露表面至少被芯片上的保护膜涂覆,因此可以提高二极管的可靠性。 |
申请日期 | 1979-08-29 |
专利号 | JP1987037832B2 |
专利状态 | 失效 |
申请号 | JP1979109138 |
公开(公告)号 | JP1987037832B2 |
IPC 分类号 | H01L21/316 | H01S5/00 | H01S5/028 |
专利代理人 | - |
代理机构 | - |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86573 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | HITACHI LTD |
推荐引用方式 GB/T 7714 | SAWAI MASAAKI. -. JP1987037832B2[P]. 1987-08-14. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
JP1987037832B2.PDF(99KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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