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其他题名-
SAWAI MASAAKI
1987-08-14
专利权人HITACHI LTD
公开日期1987-08-14
授权国家日本
专利类型授权发明
摘要PURPOSE:To prevent contamination of the surface of a laser diode and to improve the yield thereof with reverse voltage malfunction reduced by protecting a P-N junction exposed surface at least by a CVD SiO2 film. CONSTITUTION:A surface A-A' is formed as laser beam oscillating confronting surface with an SiO2 film 7 formed by sputtering in a chip having an N type GaAs crystal 1 as a main body, and an SiO2 film 8 is formed by a CVD process (Vapor phase chemical reaction accumulation) on the opposite surface B-B' in parallel with the laser beam. Since the P-N junction exposed surface is coated at least by the protective film on the chip, the reliability of the diode can be improved.
其他摘要用途:为了防止激光二极管表面的污染,并通过至少通过CVD SiO2膜保护P-N结暴露表面,降低反向电压误差,从而提高其产量。组成:表面AA'形成为激光束振荡面对表面,在具有N型GaAs晶体1作为主体的芯片中通过溅射形成SiO2薄膜7,并且通过CVD工艺形成SiO2薄膜8(蒸汽在与激光束平行的相对表面BB'上的相化学反应积累。由于P-N结暴露表面至少被芯片上的保护膜涂覆,因此可以提高二极管的可靠性。
申请日期1979-08-29
专利号JP1987037832B2
专利状态失效
申请号JP1979109138
公开(公告)号JP1987037832B2
IPC 分类号H01L21/316 | H01S5/00 | H01S5/028
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86573
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
SAWAI MASAAKI. -. JP1987037832B2[P]. 1987-08-14.
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