激光散斑相移检测头及其应用

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	激光散斑相移检测头及其应用
其他题名	激光散斑相移检测头及其应用
	曾启林; 谢雷; 何仕斌; 翁家雄; 孙清勇
	2007-12-26
专利权人	广州华工百川科技股份有限公司
公开日期	2007-12-26
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明提供了一种激光散斑相移检测头，包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜，半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上；扩束镜设于半导体激光器前端，与半导体激光器位于同一光轴上，且扩束镜与半导体激光器连成一体；光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体，且位于同一光轴上，光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器，剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头，光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体，且位于同一光轴上；半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2°～20°。本检测头的检测结果比干涉条纹图对比度更明显，更利于缺陷判断。
其他摘要	本发明提供了一种激光散斑相移检测头，包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜，半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上；扩束镜设于半导体激光器前端，与半导体激光器位于同一光轴上，且扩束镜与半导体激光器连成一体；光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体，且位于同一光轴上，光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器，剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头，光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体，且位于同一光轴上；半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2°～20°。本检测头的检测结果比干涉条纹图对比度更明显，更利于缺陷判断。
申请日期	2007-07-20
专利号	CN101093197A
专利状态	失效
申请号	CN200710029272.4
公开（公告）号	CN101093197A
IPC 分类号	G01N21/88 \| G01N21/45 \| G02B27/48
专利代理人	李卫东
代理机构	广州市华学知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86399
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	广州华工百川科技股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	曾启林,谢雷,何仕斌,等. 激光散斑相移检测头及其应用. CN101093197A[P]. 2007-12-26.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101093197A.PDF（293KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文