Eine VCSEL-Vorrichtung mit verbesserten Modaleigenschaften

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	Eine VCSEL-Vorrichtung mit verbesserten Modaleigenschaften
其他题名	Eine VCSEL-Vorrichtung mit verbesserten Modaleigenschaften
	CHENG AN-NIEN; GIOVANE LAURA; KUO HAO-CHUNG; MATHIS SHEILA K.; PETERS FRANK H.; SCHNEIDER RICHARD P.
	2002-07-18
专利权人	AGILENT TECHNOLOGIES INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE)
公开日期	2002-07-18
授权国家	德国
专利类型	发明申请
摘要	Unter Verwendung einer lateralen physischen Modulation können die optischen Eigenschaften von VCSELs stabilisiert und gesteuert werden, indem die Charakteristika des Vorrichtungsmaterials räumlich varriiert werden. Dies führt zu einer Stabilisierung der Linienbreite, der numerischen Öffnung, des Nah- und Fernfeldes als eine Funktion der Vorspannung und Temperatur. Ein VCSEL umfaßt ein Substrat, eine aktive Region, die zwischen einem oberen und einem unteren verteilten Bragg-Reflektor (DBR) angeordnet ist, und elektrische Kontakte. Eine Lichtemissionseigenschaft, z. B. der Brechungsindex, kann variiert werden, indem die Oberfläche des Substrats vor dem Wachstum der epitaxialen DBR-Schichten oder zumindest einer Schicht entweder des oberen oder des unteren DBR strukturiert oder texturiert wird, oder indem eine nichtplanare Schicht eingefügt wird.
其他摘要	使用横向物理调制，可以通过在空间上改变器件材料的特性来稳定和控制VCSEL的光学性质。这导致线宽，数值孔径，近场和远场的稳定作为偏置和温度的函数。 VCSEL包括衬底，设置在上分布式布拉格反射器和下分布式布拉格反射器（DBR）之间的有源区，以及电触点。发光性能，例如，折射率可以通过在外延DBR层或顶部或底部DBR的至少一层生长之前，或通过结合非平面层，在基板表面上图案化或纹理化来改变。
申请日期	2001-10-05
专利号	DE10149062A1
专利状态	失效
申请号	DE10149062
公开（公告）号	DE10149062A1
IPC 分类号	H01S5/042 \| H01S5/065 \| H01S5/183 \| H01S5/32 \| H01S5/187
专利代理人	-
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86279
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	AGILENT TECHNOLOGIES INC. (N.D.GES.D.STAATES DELAWARE)
推荐引用方式 GB/T 7714	CHENG AN-NIEN,GIOVANE LAURA,KUO HAO-CHUNG,et al. Eine VCSEL-Vorrichtung mit verbesserten Modaleigenschaften. DE10149062A1[P]. 2002-07-18.