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半导体激光元件及其制备方法
其他题名半导体激光元件及其制备方法
桥本隆宏
2005-12-28
专利权人夏普株式会社
公开日期2005-12-28
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供了一种在p型覆层上沉积绝缘膜的半导体激光元件,其中可以通过抑制在半导体激光元件中的p型覆层上导致的热应力来防止半导体激光元件的体劣化。化合物半导体多层结构(2)通过依次在沉积方向上沉积n型覆层(8)、有源层(9)和具有形成于其上的脊部分(19)的p型覆层(10)来形成。然后,在化合物半导体多层结构(2)的沉积方向上沉积绝缘膜(3),该绝缘膜由折射率与构成所述第二覆层(10)的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成。本发明还涉及制造该半导体激光元件的方法。
其他摘要本发明提供了一种在p型覆层上沉积绝缘膜的半导体激光元件,其中可以通过抑制在半导体激光元件中的p型覆层上导致的热应力来防止半导体激光元件的体劣化。化合物半导体多层结构(2)通过依次在沉积方向上沉积n型覆层(8)、有源层(9)和具有形成于其上的脊部分(19)的p型覆层(10)来形成。然后,在化合物半导体多层结构(2)的沉积方向上沉积绝缘膜(3),该绝缘膜由折射率与构成所述第二覆层(10)的材料不同、热膨胀系数与构成所述第二覆层(10)的材料接近的绝缘材料形成。本发明还涉及制造该半导体激光元件的方法。
申请日期2005-06-21
专利号CN1713471A
专利状态失效
申请号CN200510079415.3
公开(公告)号CN1713471A
IPC 分类号H01S3/04 | H01S5/22 | H01S5/323
专利代理人陶凤波 | 侯宇
代理机构北京市柳沈律师事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86067
专题半导体激光器专利数据库
作者单位夏普株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
桥本隆宏. 半导体激光元件及其制备方法. CN1713471A[P]. 2005-12-28.
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CN1713471A.PDF(1944KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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