Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
外差式声光频谱仪芯片的制备方法 | |
其他题名 | 外差式声光频谱仪芯片的制备方法 |
范俊清; 许承杰; 李也凡 | |
1999-11-10 | |
专利权人 | 中国科学院长春物理研究所 |
公开日期 | 1999-11-10 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 外差式声光频谱仪芯片的制备方法,它克服了光栅发散透镜制备技术难度大的缺点。首先在LiNbO3衬底上超精加工两个非球面短程透镜凹面,再进行精密抛光、超声清洗、高频溅射、高温扩散,制成Ti-LiNbO3波导,光刻换能器铝电极,再把半导体激光器和二极管阵列分别对接在波导的两个端面,该制备方法简单,探测容易,性能良好。 |
其他摘要 | 外差式声光频谱仪芯片的制备方法,它克服了光栅发散透镜制备技术难度大的缺点。首先在LiNbO3衬底上超精加工两个非球面短程透镜凹面,再进行精密抛光、超声清洗、高频溅射、高温扩散,制成Ti-LiNbO3波导,光刻换能器铝电极,再把半导体激光器和二极管阵列分别对接在波导的两个端面,该制备方法简单,探测容易,性能良好。 |
申请日期 | 1998-05-06 |
专利号 | CN1234332A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN97125630.6 |
公开(公告)号 | CN1234332A |
IPC 分类号 | B29D11/00 |
专利代理人 | 王立伟 |
代理机构 | 中国科学院长春专利事务所 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86063 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 中国科学院长春物理研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 范俊清,许承杰,李也凡. 外差式声光频谱仪芯片的制备方法. CN1234332A[P]. 1999-11-10. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN1234332A.PDF(197KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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