具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器

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	具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器
其他题名	具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器
	张祥伟; 宁永强; 秦莉; 刘云; 王立军
	2012-09-12
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-09-12
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，属于半导体光电子学技术领域，为对激光两个偏振方向的光进行偏振选择，对激射光束进行发散角的压缩，本发明提供具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，由上至下依次为：N面电极、衬底、缓冲层、N型分布布拉格反射镜组、有源区、氧化限制层、P型分布布拉格反射镜组和欧姆接触层，衬底上表面中间区制作出半导体光栅，衬底上表面两端生长N面电极，P型分布布拉格反射镜组上生长欧姆接触层，欧姆接触层中间区生长金属层，在金属层上制作出金属光栅，有源区至欧姆接触层的两侧生长钝化层，钝化层外侧生长P面电极，实现了高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器的模式控制。
其他摘要	具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，属于半导体光电子学技术领域，为对激光两个偏振方向的光进行偏振选择，对激射光束进行发散角的压缩，本发明提供具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器，由上至下依次为：N面电极、衬底、缓冲层、N型分布布拉格反射镜组、有源区、氧化限制层、P型分布布拉格反射镜组和欧姆接触层，衬底上表面中间区制作出半导体光栅，衬底上表面两端生长N面电极，P型分布布拉格反射镜组上生长欧姆接触层，欧姆接触层中间区生长金属层，在金属层上制作出金属光栅，有源区至欧姆接触层的两侧生长钝化层，钝化层外侧生长P面电极，实现了高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器的模式控制。
申请日期	2012-05-04
专利号	CN102664347A
专利状态	失效
申请号	CN201210135687.0
公开（公告）号	CN102664347A
IPC 分类号	H01S5/183
专利代理人	南小平
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/86054
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	张祥伟,宁永强,秦莉,等. 具有模式控制结构的高功率电泵外腔垂直腔面发射激光器. CN102664347A[P]. 2012-09-12.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN102664347A.PDF（764KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文