悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法
其他题名	悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法
	郭霞; 关宝璐; 沈光地
	2008-02-27
专利权人	北京工业大学
公开日期	2008-02-27
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法属于半导体光电子器件领域。WDM系统中激光器不能实现更多波长选择。该结构包括正电极层(1)、上分布反馈布拉格反射镜(20)、腐蚀停层(4)、p型欧姆接触(5)、铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、下分布反馈布拉格反射镜(40)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极(11)，特征在于：上分布反馈布拉格反射镜(20)和p型欧姆接触层(5)之间设置中空牺牲层(30)；空气隙层(12)是中空牺牲层(30)的中空部分；上分布反馈布拉格反射镜(20)与空气隙层(12)共同组成悬臂梁式可动反射镜结构。本发明实现了微机械可动反射镜的波长可调谐垂直腔面发射激光器结构设计和器件制备。
其他摘要	悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法属于半导体光电子器件领域。WDM系统中激光器不能实现更多波长选择。该结构包括正电极层(1)、上分布反馈布拉格反射镜(20)、腐蚀停层(4)、p型欧姆接触(5)、铝砷化镓氧化电流限制层(6)、有源区(7)、下分布反馈布拉格反射镜(40)、n型砷化镓衬底(10)、衬底电极(11)，特征在于：上分布反馈布拉格反射镜(20)和p型欧姆接触层(5)之间设置中空牺牲层(30)；空气隙层(12)是中空牺牲层(30)的中空部分；上分布反馈布拉格反射镜(20)与空气隙层(12)共同组成悬臂梁式可动反射镜结构。本发明实现了微机械可动反射镜的波长可调谐垂直腔面发射激光器结构设计和器件制备。
申请日期	2007-09-28
专利号	CN101132119A
专利状态	失效
申请号	CN200710175248.1
公开（公告）号	CN101132119A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/187 \| H01S5/34 \| H01S5/30
专利代理人	刘萍
代理机构	北京思海天达知识产权代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85804
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	北京工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	郭霞,关宝璐,沈光地. 悬臂梁式波长可调谐垂直腔面发射激光器结构及制备方法. CN101132119A[P]. 2008-02-27.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101132119A.PDF（664KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文