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一种提高半导体激光器可靠性方法
其他题名一种提高半导体激光器可靠性方法
李再金; 李特; 曲轶; 乔忠良; 李辉; 李林; 刘国军; 薄报学; 马晓辉
2017-01-04
专利权人长春理工大学
公开日期2017-01-04
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种提高半导体激光器可靠性方法,包括:半导体激光器解理条1,厚度为2.5纳米钆2,厚度为20纳米的钆镓榴石3。将解理好的半导体激光器解理条1整齐的堆叠在镀膜夹具上,放入镀膜机里,抽取真空。当真空度达到高真空时,开始镀膜,首先镀厚度为2.5纳米钆2,再镀厚度为20纳米的钆镓榴石3,这种方法膜能有效地降低半导体激光器腔面损伤,提高半导体激光器的可靠性。本发明能有效地提高半导体激光器的可靠性。
其他摘要本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种提高半导体激光器可靠性方法,包括:半导体激光器解理条1,厚度为2.5纳米钆2,厚度为20纳米的钆镓榴石3。将解理好的半导体激光器解理条1整齐的堆叠在镀膜夹具上,放入镀膜机里,抽取真空。当真空度达到高真空时,开始镀膜,首先镀厚度为2.5纳米钆2,再镀厚度为20纳米的钆镓榴石3,这种方法膜能有效地降低半导体激光器腔面损伤,提高半导体激光器的可靠性。本发明能有效地提高半导体激光器的可靠性。
申请日期2015-05-28
专利号CN106300010A
专利状态失效
申请号CN201510280995.6
公开(公告)号CN106300010A
IPC 分类号H01S5/22
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/85570
专题半导体激光器专利数据库
作者单位长春理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李再金,李特,曲轶,等. 一种提高半导体激光器可靠性方法. CN106300010A[P]. 2017-01-04.
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CN106300010A.PDF(48KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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