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半導体レーザの製造方法
其他题名半導体レーザの製造方法
牛嶋 一郎; 小原 治
1994-01-21
专利权人富士通株式会社
公开日期1994-01-21
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 DFB レーザに関し,光CATVシステムにおける光源に適用可能な低歪みかつ高出力の特性を得るためにコルゲーションの光結合効率を向上することを目的とする。 【構成】 光活性層等の半導体層を成長させる工程またはその前処理工程において高温雰囲気に曝されることによる変形を考慮して, 基板上にあらかじめ形成するコルゲーションを, 平坦で有限の幅を有する凹部と, この凹部より幅の狭い凸部とを交互に繰り返して構成する。
其他摘要用途:为了通过一种方法高度保持光耦合特性,其中,考虑到在半导体层生长工艺等中在高温大气球中产生的相变,通过交替地布置凹陷部分来形成要在基板上提供的波纹。和突出部分,留下规定的间隔。组成:当制造用作光学CATV系统中的光源的半导体激光器时,基板1具有通过例如以2000的间距A布置三角形横截面突出部分2而形成的波纹。使用埃。此时,波纹的突出部分2与位于突出部分2之间的凹陷部分之间的高度差设定在280至440埃的范围内,并且突出部分之间的平坦凹陷部分的宽度D例如,图2中的D / A = 3/5。由n型InGaAsP,有源层4和p型InP包层5组成的导光层3外延地外延生长,并制造半导体激光器。
申请日期1992-06-25
专利号JP1994013701A
专利状态失效
申请号JP1992166480
公开(公告)号JP1994013701A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人井桁 貞一
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/84875
专题半导体激光器专利数据库
作者单位富士通株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
牛嶋 一郎,小原 治. 半導体レーザの製造方法. JP1994013701A[P]. 1994-01-21.
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