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Semiconductor laser device
其他题名Semiconductor laser device
NAKANO MUNEAKI; WADA MASARU
1989-08-14
专利权人MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
公开日期1989-08-14
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To suppress mode hopping noise by making current injection region to be discontinuous so that no current may be injection partially in the direction of cavity. CONSTITUTION:Two parallel ridges are formed in the direction of by etching sandwiching a groove on an n-type GaAs substrate 2 of orientation crystal surface 100. A clad layer 3 by n type GaAlAs is formed on ridge above it by the liquid phase epitaxial method, an active layer 4 by non-dope GaAlAs is formed at the same place, and then a clad layer 5 by p type GaAlAs and a cap layer 6 by n-type GaAs are allowed to grow continuously. Then, after forming a stripe shape mask on the cap layer 6 by a nitride film 9 leaving the central part partially, zinc is diffused and a zinc diffusion region 7 is formed. And then, the nitriding film 9 is removed and electrodes 1 and 8 are formed. It allows noise level to be reduced by self pulsation.
其他摘要目的:通过使电流注入区域不连续来抑制模式跳跃噪声,使得没有电流可以部分地沿腔的方向注入。组成:通过蚀刻夹在取向晶体表面100的n型GaAs衬底2上的凹槽,在方向上形成两个平行的脊。由液体在其上方的脊上形成n型GaAlAs的包层3在相位外延法中,在相同的位置形成由非掺杂GaAlAs形成的有源层4,然后使由p型GaAlAs形成的包层5和由n型GaAs形成的覆盖层6连续生长。然后,在通过部分地离开中心部分的氮化膜9在盖层6上形成条形掩模之后,扩散锌并形成锌扩散区域7。然后,除去氮化膜9,形成电极1和8。它可以通过自身脉动降低噪音水平。
申请日期1988-02-05
专利号JP1989201981A
专利状态失效
申请号JP1988026084
公开(公告)号JP1989201981A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/065 | H01S5/22 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/84560
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
NAKANO MUNEAKI,WADA MASARU. Semiconductor laser device. JP1989201981A[P]. 1989-08-14.
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