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半導体レーザ素子
其他题名半導体レーザ素子
川中 敏; 田中 俊明
1995-06-23
专利权人HITACHI LTD
公开日期1995-06-23
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】素子抵抗が低く、且つ低電圧で駆動することができ、高周波信号に対する応答性に優れた半導体レーザ素子を提供する。 【構成】コンタクト層に用いるGaAsとクラッド層に用いるAlGaInPの禁制帯幅のほぼ中間の禁制帯幅を持つAlGaAsバッファ層をクラッド層とコンタクト層の間に形成し、バッファ層のホール濃度を1019cm-3程度としてコンタクト層と同等のホール濃度に設定した。 【効果】従来の構造に比べると、素子抵抗を20〜30%低減することができ、駆動電圧を下げるとともに高周波特性が向上し、制御性の優れた半導体レーザ素子を実現できた。
其他摘要用途:为了降低AlGaInP半导体激光器的元件电阻,并实现激光的低电压驱动,通过在接触层和接触层之间形成禁止带宽几乎位于GaAs接触层和AlGaInP包层之间的AlGaAs缓冲层。包层。组成:一个N型AlGaInP包层3,一个禁带宽小于包层的有源层4,和一个P型包层5按顺序层叠在N-GaAs衬底1和双异质结构形成了。依次层叠蚀刻停止层6,包层7,缓冲层8和盖层。通过化学蚀刻盖层,缓冲层8和包层7,形成条形脊,然后通过掩埋生长形成阻挡层9。形成AlXGa1-XAs缓冲层10,并且Al组分X设定为0.25。形成P-GaAs接触层11。通过电极工艺蒸发P和N表面的电极12,13。
申请日期1993-12-09
专利号JP1995162082A
专利状态失效
申请号JP1993308892
公开(公告)号JP1995162082A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人小川 勝男
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/82135
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
川中 敏,田中 俊明. 半導体レーザ素子. JP1995162082A[P]. 1995-06-23.
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