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半導体レーザ
其他题名半導体レーザ
倉又 朗人
1998-02-20
专利权人FUJITSU LTD
公开日期1998-02-20
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 短波長光の発振に適したGaN系半導体を用いた半導体レーザに関し、p型電極のコンタクト抵抗が低いGaN系半導体レーザを提供することである。 【解決手段】 GaNを少なくとも成分として含むGaN系半導体を用い、活性層、n型クラッド層、p型クラッド層を含むレーザ構造と、前記p型クラッド層上に形成され、p型InNまたはp型Inx Ga1-x N(x>0.2)で形成されたp型コンタクト層とを有する。
其他摘要要解决的问题:为了获得低接触电阻,通过在p型包覆层上提供由p型InN半导体或p型In-Ga-N基半导体形成的p型接触层。激光器结构包括有源层,n型覆层和使用GaN基半导体的p型覆层。解决方案:在半导体激光器中,接触层在p型Inx Ga1-x N中具有x> 0.2的成分。此外,在激光器中,Si掺杂的n型GaN缓冲层2,Si掺杂的n型Al0.15 Ga0.85 N包层3,Si掺杂n型GaN光限制层4,未掺杂InGaN多量子阱(MQW)有源层5,Mg掺杂p型GaN光限制层如图6所示,Mg掺杂的p型Al0.15Ga0.85N包层7,Mg掺杂的p型接触层8,具有逐渐增加的In组分的p型InGaN倾斜组合物层9和Mg在衬底1上依次生长掺杂的p型InN接触层10.具有梯度增加的In组分的p型InGaN倾斜组合物层9降低了Mg掺杂的p型接触层8和Mg掺杂的p型InN接触层10可以获得低接触电阻。
申请日期1996-07-29
专利号JP1998051070A
专利状态失效
申请号JP1996199390
公开(公告)号JP1998051070A
IPC 分类号H01L33/34 | H01S5/323 | H01S5/343 | H01L33/12 | H01L33/16 | H01L33/06 | H01L33/32 | H01S5/00 | H01S3/18 | H01L33/00
专利代理人高橋 敬四郎
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/80711
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FUJITSU LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
倉又 朗人. 半導体レーザ. JP1998051070A[P]. 1998-02-20.
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