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一种半导体激光器芯片
其他题名一种半导体激光器芯片
周立; 潘之炜; 郭栓银; 谭少阳; 吴涛
2017-05-31
专利权人苏州长光华芯光电技术有限公司
公开日期2017-05-31
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型公开了一种半导体激光器芯片,其相对的两个外侧分别为作为P电极的P面金属层和作为N电极的N面金属层。P面金属层的内侧为高掺杂低阻层,高掺杂低阻层靠近所述半导体激光器芯片的腔面处的腐蚀有一条平行于腔面的沟槽。在沟槽及边缘区域设置有SiO2绝缘层,P面金属层覆盖高掺杂低阻层的同时还覆盖SiO2绝缘层,使在SiO2绝缘层的窗口内注入的电流不会直接通过高掺杂低阻层扩散到出腔面处,而是在沟槽处被阻挡。本实用新型通过减少腔面附近注入载流子浓度,可减少非辐射复合吸收,达到提高COMD发生电流的效果,能抑制半导体激光器的腔面注入电流密度过大的缺陷。
其他摘要本实用新型公开了一种半导体激光器芯片,其相对的两个外侧分别为作为P电极的P面金属层和作为N电极的N面金属层。P面金属层的内侧为高掺杂低阻层,高掺杂低阻层靠近所述半导体激光器芯片的腔面处的腐蚀有一条平行于腔面的沟槽。在沟槽及边缘区域设置有SiO2绝缘层,P面金属层覆盖高掺杂低阻层的同时还覆盖SiO2绝缘层,使在SiO2绝缘层的窗口内注入的电流不会直接通过高掺杂低阻层扩散到出腔面处,而是在沟槽处被阻挡。本实用新型通过减少腔面附近注入载流子浓度,可减少非辐射复合吸收,达到提高COMD发生电流的效果,能抑制半导体激光器的腔面注入电流密度过大的缺陷。
申请日期2016-10-31
专利号CN206211263U
专利状态授权
申请号CN201621153672.7
公开(公告)号CN206211263U
IPC 分类号H01S5/34 | H01S5/18 | H01S5/24
专利代理人汤东凤
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/79997
专题半导体激光器专利数据库
作者单位苏州长光华芯光电技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
周立,潘之炜,郭栓银,等. 一种半导体激光器芯片. CN206211263U[P]. 2017-05-31.
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