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Epitaxial growth method
其他题名Epitaxial growth method
TSUKADA TOSHIHISA; SHIGE NORIYUKI
1977-04-06
专利权人HITACHI LTD
公开日期1977-04-06
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To use the exposed surface of GaAs excluding the GaAlAs layer on the surface thereby easily effecting epitaxy on GaAlAs.
其他摘要目的:使用表面上不包括GaAlAs层的GaAs暴露表面,从而轻松实现GaAlAs上的外延。
申请日期1975-10-06
专利号JP1977044193A
专利状态失效
申请号JP1975119737
公开(公告)号JP1977044193A
IPC 分类号H01L21/208 | H01L33/14 | H01L33/30 | H01S5/00 | H01L33/00 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/78841
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
TSUKADA TOSHIHISA,SHIGE NORIYUKI. Epitaxial growth method. JP1977044193A[P]. 1977-04-06.
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JP1977044193A.PDF(138KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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