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半導体レーザ及びその製造方法
其他题名半導体レーザ及びその製造方法
加藤 久弥; 久野 裕也; 冨田 一義; 加納 浩之
1995-06-02
专利权人NIPPONDENSO CO LTD
公开日期1995-06-02
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【目的】 より簡単なプロセスにて製造できる半導体レーザ及びその製造方法を提供することにある。 【構成】 n-GaAs基板1上には、n-GaAs基板1のストライプ状の露出部を残してSiO2 層2が配置されている。SiO2 層2でのn-GaAs基板1の露出部上には単結晶積層部13が形成され、単結晶積層部13はn-GaAs基板1とSiO2 層2との間の選択成長によりn-AlGaAsクラッド層3とi-GaAs活性層4とp-AlGaAsクラッド層5とが順に積層されたものである。又、SiO2 層2上には多結晶積層部14が形成され、多結晶積層部14は前記選択成長に伴い形成されたものである。
其他摘要本发明的一个目的是提供一种可以通过更简单的工艺制造的半导体激光器及其制造方法。 SiO 2 层2设置在n-GaAs衬底1上,留下n-GaAs衬底1的条纹暴露部分。在SiO 2 2 层2中的n-GaAs衬底1的暴露部分上,形成单晶层叠部分13,并且通过层叠n-GaAs衬底1和SiO 2形成单晶层叠部分13 层2依次层叠n-AlGaAs包覆层3,i-GaAs活性层4和p-AlGaAs包覆层5。在SiO 2 2 层2上形成多晶层叠部分14,并根据选择性生长形成多晶层叠部分14。
申请日期1993-11-22
专利号JP1995142811A
专利状态失效
申请号JP1993292184
公开(公告)号JP1995142811A
IPC 分类号H01S5/042 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人恩田 博宣
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77796
专题半导体激光器专利数据库
作者单位NIPPONDENSO CO LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
加藤 久弥,久野 裕也,冨田 一義,等. 半導体レーザ及びその製造方法. JP1995142811A[P]. 1995-06-02.
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