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半導体レーザ
其他题名半導体レーザ
冨士原 潔; 宇野 智昭
1997-07-31
专利权人松下電器産業株式会社
公开日期1997-07-31
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 レーザ活性なストライプ状共振器内のキャリア密度分布を均一にし、高バイアス駆動においても利得の飽和の少なくし、高出力動作を得る。 【解決手段】 n-InP基板1上にn-InPクラッド層2、InGaAsP導波路層3と圧縮歪が導入されたInGaAsP井戸層4の5層、InGaAsPバリア層5の4層とからなり、室温でのフォトルミネッセンス波長が45μmに設定された量子井戸構造活性領域6、p-InPクラッド層7を積層させる。その後、ストライプ状共振器8を形成し、さらにp-InP電流ブロック層9、n-InP電流ブロック層10、p-InP埋め込み層11、p-InGaAsコンタクト層17を積層する。高出力化のために、出射端面に絶縁膜で低反射率コート15及び高反射率コート16を施す。誘電体膜を高反射率コートして形成される側のストライプ状共振器のストライプ幅Wa1を2μmとし、低反射率コートして形成される側のストライプ状共振器のストライプ幅Wa2を4μmに設定する。
其他摘要要解决的问题:通过使激光激活条纹谐振器中的载流子密度分布均匀,并且即使在其高偏压驱动的情况下也降低其增益饱和,来获得半导体激光器的高功率操作。解决方案:在半导体激光器中,n-InP包层2,量子阱结构化有源区6和p-InP包层7按此顺序层叠在n-InP衬底1上。量子阱 - 结构化有源区6包括两个InGaAsP波导层3,五个具有引入的压缩应变的InGaAsP阱层4和四个InGaAsP势垒层5,并且其在室温下的光致发光波长设定为45μm。此后,形成条形谐振器8,并且进一步地,在衬底上层叠p-InP电流阻挡层9,n-InP电流阻挡层10,p-InP掩埋层11和p-InGaAs接触层17。为了增加半导体激光器的功率,通过绝缘膜将低反射系数和高反射系数涂层15,16施加到其出射辐射端面。条形谐振器8的条纹宽度Wa1在其由电介质膜的高反射系数涂层16形成的一侧设定为2μm,并且其条带宽度Wa2在其由低电位形成的一侧设定为4μm。反射因子涂层15的介电薄膜。
申请日期1996-01-16
专利号JP1997199782A
专利状态失效
申请号JP1996004553
公开(公告)号JP1997199782A
IPC 分类号H01S5/042 | H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人滝本 智之 (外1名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/77696
专题半导体激光器专利数据库
作者单位松下電器産業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
冨士原 潔,宇野 智昭. 半導体レーザ. JP1997199782A[P]. 1997-07-31.
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