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Manufacture of semiconductor laser
其他题名Manufacture of semiconductor laser
FURUMIYA SATOSHI; OKUDA SHINYA
1985-10-25
专利权人FUJITSU KK
公开日期1985-10-25
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To improve luminous efficiency by using a p type indium.phosphorus layer, to which p type and n type impurities are added simultaneously in high concentration, as a current limiting layer for a p-n-p-n junction. CONSTITUTION:When a p type InP current limiting layer 2 is grown on an n type InP substrate 1, a p type impurity and an n type impurity are added simultaneously in high concentration. An SiO2 layer is applied in order to form a V groove, and a striped section 9 is shaped. An n type InP layer 3 is formed on the p type InP current limiting layer 2 containing the V groove. A non-doped n type InGaAsP active layer 4, a p type InP layer 5 and a p type InGaAsP layer 6 are shaped and epitaxial growth is completed, and electrodes 7, 8 are annexed to upper and lower sections, thus obtaining a laser element.
其他摘要用途:为了提高发光效率,采用p型铟磷层,高浓度同时加入p型和n型杂质,作为p-n-p-n结的限流层。组成:当在n型InP衬底1上生长p型InP限流层2时,同时以高浓度添加p型杂质和n型杂质。施加SiO2层以形成V形槽,并且条形部分9成形。在包含V形槽的p型InP限流层2上形成n型InP层3。形成非掺杂的n型InGaAsP有源层4,p型InP层5和p型InGaAsP层6,并完成外延生长,并且将电极7,8附加到上部和下部,从而获得激光元件。
申请日期1984-04-09
专利号JP1985213074A
专利状态失效
申请号JP1984070405
公开(公告)号JP1985213074A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/223 | H01S5/24 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/76854
专题半导体激光器专利数据库
作者单位FUJITSU KK
推荐引用方式
GB/T 7714
FURUMIYA SATOSHI,OKUDA SHINYA. Manufacture of semiconductor laser. JP1985213074A[P]. 1985-10-25.
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