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Semiconductor laser device
其他题名Semiconductor laser device
ARIMOTO SATOSHI
1992-10-27
专利权人MITSUBISHI ELECTRIC CORP
公开日期1992-10-27
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要PURPOSE:To easily and highly accurately form the ridge of an AlGaAs ridge waveguide type laser device. CONSTITUTION:The upper clad layer of a ridge waveguide type semiconductor laser device is constituted in a two-layer structure of the first upper clad layer 4b of p-type AlGaAs and second upper clad layer 4c of p-type AlGaInP. Since these two materials can be completely removed by selective etching, the ridge section of this laser device can be formed only etching the layer 4c to a ridge- like shape by using the layer 4b as an etching stopper.
其他摘要目的:轻松高精度地形成AlGaAs脊波导型激光器的脊。组成:脊形波导型半导体激光器件的上包层由p型AlGaAs的第一上包层4b和p型AlGaInP的第二上包层4c的双层结构构成。由于这两种材料可以通过选择性蚀刻完全去除,因此该激光器件的脊部分可以仅通过使用层4b作为蚀刻阻挡层而将层4c蚀刻成脊状形状。
申请日期1991-03-29
专利号JP1992303986A
专利状态失效
申请号JP1991093484
公开(公告)号JP1992303986A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S3/18
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/75881
专题半导体激光器专利数据库
作者单位MITSUBISHI ELECTRIC CORP
推荐引用方式
GB/T 7714
ARIMOTO SATOSHI. Semiconductor laser device. JP1992303986A[P]. 1992-10-27.
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JP1992303986A.PDF(112KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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