Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置 | |
其他题名 | 一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置 |
李再金; 李林; 赵志斌; 曾丽娜; 曲轶; 彭鸿雁 | |
2019-01-04 | |
专利权人 | 海南师范大学 |
公开日期 | 2019-01-04 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明公开一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置,包括808.5nm半导体激光;前后面镀808.5nm增透膜的聚焦镜;前面镀914nm高反、808.5、1064和1342 nm增透膜,后面镀914nm高反、1064和1342 nm增透膜的Nd:YVO4;前面镀914、1064和1342 nm增透膜,后面镀457nm高反、914、1064和1342 nm增透膜的平面镜;前后面镀914nm和457nm增透膜的LBO;前面镀914nm高反、457、1064和1342 nm增透膜,后面镀457、1064和1342 nm增透膜、228nm高反膜的平面镜;前后面镀457和228 nm增透膜的BBO;凹面镀457nm高反、228nm增透膜,平面镀228nm增透膜凹平面镜;中心波长为228±5nm滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光输出。 |
其他摘要 | 本发明公开一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置,包括808.5nm半导体激光;前后面镀808.5nm增透膜的聚焦镜;前面镀914nm高反、808.5、1064和1342 nm增透膜,后面镀914nm高反、1064和1342 nm增透膜的Nd:YVO4;前面镀914、1064和1342 nm增透膜,后面镀457nm高反、914、1064和1342 nm增透膜的平面镜;前后面镀914nm和457nm增透膜的LBO;前面镀914nm高反、457、1064和1342 nm增透膜,后面镀457、1064和1342 nm增透膜、228nm高反膜的平面镜;前后面镀457和228 nm增透膜的BBO;凹面镀457nm高反、228nm增透膜,平面镀228nm增透膜凹平面镜;中心波长为228±5nm滤光片。该装置实现了228nm深紫外全固态激光输出。 |
申请日期 | 2018-08-16 |
专利号 | CN109149340A |
专利状态 | 申请中 |
申请号 | CN201810932697 |
公开(公告)号 | CN109149340A |
IPC 分类号 | H01S3/0941 | H01S3/10 | H01S3/109 |
专利代理人 | - |
代理机构 | - |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/73680 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 海南师范大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李再金,李林,赵志斌,等. 一种能产生波长为228nm深紫外全固态激光装置. CN109149340A[P]. 2019-01-04. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN109149340A.PDF(245KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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