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一种半导体激光器及其制备方法
其他题名一种半导体激光器及其制备方法
胡俊杰; 张书明; 刘建平; 李德尧; 张立群; 杨辉
2019-07-16
专利权人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
公开日期2019-07-16
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种半导体激光器及其制备方法,通过对接触层和上限制层的两侧进行离子注入,形成晶格损伤高阻区,限制载流子在所述接触层和上限制层上的横向扩散;再通过对所述晶格损伤高阻区与上电极接触的部分进行晶格损伤修复,形成晶格修复区,使所述晶格修复区恢复导电性能。由此,所述半导体激光器既能起到普通脊形波导半导体激光器对载流子横向扩散的限制作用,还增大了所述接触层与上电极之间的接触面积,即增大了P型欧姆接触的面积,从而降低了上电极的接触电阻,降低了半导体激光器的工作电压。
其他摘要本发明公开了一种半导体激光器及其制备方法,通过对接触层和上限制层的两侧进行离子注入,形成晶格损伤高阻区,限制载流子在所述接触层和上限制层上的横向扩散;再通过对所述晶格损伤高阻区与上电极接触的部分进行晶格损伤修复,形成晶格修复区,使所述晶格修复区恢复导电性能。由此,所述半导体激光器既能起到普通脊形波导半导体激光器对载流子横向扩散的限制作用,还增大了所述接触层与上电极之间的接触面积,即增大了P型欧姆接触的面积,从而降低了上电极的接触电阻,降低了半导体激光器的工作电压。
申请日期2018-01-10
专利号CN110021876A
专利状态申请中
申请号CN201810023796.0
公开(公告)号CN110021876A
IPC 分类号H01S5/22 | H01S5/20
专利代理人孙伟峰
代理机构深圳市铭粤知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/72515
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
胡俊杰,张书明,刘建平,等. 一种半导体激光器及其制备方法. CN110021876A[P]. 2019-07-16.
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