一种样品测试/处理装置

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	一种样品测试/处理装置
其他题名	一种样品测试/处理装置
	吴建耀; 宋克昌; 杨国文
	2015-12-23
专利权人	西安立芯光电科技有限公司
公开日期	2015-12-23
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明提供一种样品测试/处理装置，能够解决现有技术系统复杂、庞大以及效率较低的问题。该样品测试/处理装置，包括基础结构件、作业台、样品架、样品架支撑机构、控制器和多个工艺处理单元，其中基础结构件、作业台、样品架自上而下依次布置；所述样品架支撑机构用于配合连接并锁紧样品架；所述多个工艺处理单元均固定安装于作业台，作业台与基础结构件连接固定，基础结构件上设置有统一的作业线路连接口，作业台在竖直方向上具有与所述作业线路连接位置对应的贯通孔道；所述样品架支撑机构自作业台下方穿过所述贯通孔道伸出，并连接有水平旋转驱动机构和升降驱动机构以实现样品架支撑机构的水平旋转和垂直升降功能。
其他摘要	本发明提供一种样品测试/处理装置，能够解决现有技术系统复杂、庞大以及效率较低的问题。该样品测试/处理装置，包括基础结构件、作业台、样品架、样品架支撑机构、控制器和多个工艺处理单元，其中基础结构件、作业台、样品架自上而下依次布置；所述样品架支撑机构用于配合连接并锁紧样品架；所述多个工艺处理单元均固定安装于作业台，作业台与基础结构件连接固定，基础结构件上设置有统一的作业线路连接口，作业台在竖直方向上具有与所述作业线路连接位置对应的贯通孔道；所述样品架支撑机构自作业台下方穿过所述贯通孔道伸出，并连接有水平旋转驱动机构和升降驱动机构以实现样品架支撑机构的水平旋转和垂直升降功能。
申请日期	2015-09-25
专利号	CN105180986A
专利状态	授权
申请号	CN201510624126.0
公开（公告）号	CN105180986A
IPC 分类号	G01D11/00 \| H01S5/00
专利代理人	胡乐
代理机构	西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/70387
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安立芯光电科技有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	吴建耀,宋克昌,杨国文. 一种样品测试/处理装置. CN105180986A[P]. 2015-12-23.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN105180986A.PDF（691KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文