Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
半導体面発光素子 | |
其他题名 | 半導体面発光素子 |
斉藤 信雄; 山賀 睦夫; 藤本 勲; 小林 規矩男; 山本 悌二; 稲井 誠 | |
1994-04-08 | |
专利权人 | 日本放送協会 |
公开日期 | 1994-04-08 |
授权国家 | 日本 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 【目的】 構造が簡単で、製造工程が単純であり、かつ素子作製に関する制約の少ない半導体面発光素子を提供する。 【構成】 段差を有するIII-V族化合物半導体基板上に、分子線エピタキシー(MBE)法により、両性不純物のIV族元素(C、Si、Geなど)をドープしたIII-V族化合物半導体を形成し、III-V族半導体基板の平坦面領域がn型で、段差の斜面領域がp型(または絶縁性)であるような電流閉じ込め構造で活性層を取り囲む。 |
其他摘要 | 目的:通过在III-V半导体衬底的表面上形成掺杂有两性杂质的IV族元素的III-V族化合物半导体层,获得其中载流子限制区域二维地布置在有源区周围的简单结构。通过MBE方法形成阶梯差异部分并具有特定的取向。组成:在表面为(111)B面的GaAs子21上,通过光刻法形成等边三角形图案。通过湿法蚀刻在GaAs衬底21的表面上形成从上方观察形成等边三角形的台阶差分部分21a。台阶部分21a被倾斜表面围绕,该倾斜表面与基板21的表面的倾斜角度约为70度。之后,通过倾斜角度生长Si掺杂的N-AlAs / GaAs多层膜(反射镜)22。 MBE方法。形成Si掺杂的N-AlGaAs包层23,Si掺杂的GaAs有源层24,Be掺杂的P-AlGaAs包层25和P-GaAs盖层26。 |
主权项 | - |
申请日期 | 1992-03-26 |
专利号 | JP1994097564A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | JP1992067935 |
公开(公告)号 | JP1994097564A |
IPC 分类号 | H01S5/30 | H01S5/042 | H01S5/00 | H01S5/183 | H01S3/18 |
专利代理人 | 谷 義一 (外1名) |
代理机构 | - |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67122 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 日本放送協会 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 斉藤 信雄,山賀 睦夫,藤本 勲,等. 半導体面発光素子. JP1994097564A[P]. 1994-04-08. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
JP1994097564A.PDF(178KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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