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半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法
其他题名半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法
左文字 克哉; 山田 篤志; 石田 昌宏
2009-04-16
专利权人パナソニック株式会社
公开日期2009-04-16
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】性能の低下を伴うことなく動作電圧を低くすることができる。 【解決手段】リッジ型の半導体発光素子は活性層104の上にクラッド層106と電極111とを順に有し、クラッド層106は上面にリッジ106aを有している。第1誘電体膜108がクラッド層106の上面のうちリッジ106aが形成されていない部分とリッジ106aの側面とを覆い、第2誘電体膜110が第1誘電体膜108の上面における周縁部分を覆う。第2誘電体膜110のエッチングレートは、第1誘電体膜108のエッチングレートよりも速い。 【選択図】図1
其他摘要要解决的问题:允许降低工作电压而不会降低性能。解决方案:脊型半导体发光器件具有在有源层104上方顺序形成的包层106和电极111,并且包层106在其顶表面上具有脊106a。第一介电膜108覆盖包层106的顶表面,其中没有形成脊106a,脊106a的侧面。第二介电膜110覆盖第一介电膜108的顶表面的圆周部分。第二介电膜110的蚀刻速率快于第一介电膜108的蚀刻速率。
主权项-
申请日期2007-09-27
专利号JP2009081373A
专利状态失效
申请号JP2007251068
公开(公告)号JP2009081373A
IPC 分类号H01S5/343 | H01S5/00
专利代理人前田 弘 | 竹内 宏 | 嶋田 高久 | 竹内 祐二 | 今江 克実 | 藤田 篤史 | 二宮 克也 | 原田 智雄 | 井関 勝守 | 関 啓 | 杉浦 靖也
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/67119
专题半导体激光器专利数据库
作者单位パナソニック株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
左文字 克哉,山田 篤志,石田 昌宏. 半導体発光素子および半導体発光素子の製造方法. JP2009081373A[P]. 2009-04-16.
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