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氮化镓基激光二极管及其制备方法
其他题名氮化镓基激光二极管及其制备方法
冯向旭; 张洁; 叶孟欣; 刘建明; 徐宸科
2015-11-11
专利权人厦门市三安光电科技有限公司
公开日期2015-11-11
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开一种氮化镓基激光二极管及其制作方法,包括:衬底、n型层、n型限制层、n型波导层、有源层、p型波导层、p型限制层和p型层,其特征在于:所述n型限制层包括第一n型限制层和第二n型限制层构成的堆叠结构。采用AlN/AlGaN超晶格作为n型限制层底层,可以有效地提高n型限制层的Al组分,降低激光器激射阈值;有效地预防外延层开裂,提高产品良率。
其他摘要本发明公开一种氮化镓基激光二极管及其制作方法,包括:衬底、n型层、n型限制层、n型波导层、有源层、p型波导层、p型限制层和p型层,其特征在于:所述n型限制层包括第一n型限制层和第二n型限制层构成的堆叠结构。采用AlN/AlGaN超晶格作为n型限制层底层,可以有效地提高n型限制层的Al组分,降低激光器激射阈值;有效地预防外延层开裂,提高产品良率。
主权项氮化镓基激光二极管,包括:衬底、n型层、n型限制层、n型波导层、有源层、p型波导层、p型限制层和p型层,其特征在于:所述n型限制层包括第一n型限制层和第二n型限制层构成的堆叠结构。
申请日期2015-09-11
专利号CN105048286A
专利状态失效
申请号CN201510576295.1
公开(公告)号CN105048286A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66934
专题半导体激光器专利数据库
作者单位厦门市三安光电科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
冯向旭,张洁,叶孟欣,等. 氮化镓基激光二极管及其制备方法. CN105048286A[P]. 2015-11-11.
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