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半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管
其他题名半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管
小野健一; 元田隆
1997-07-02
专利权人三菱电机株式会社
公开日期1997-07-02
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种半导体器件,包含:具有表面的半导体衬底(1);由交互叠合在一起的多个第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)构成的应变超晶格结构,第一半导体层(4a)在相对于半导体衬底(1)为压缩或伸张的方向上有第一应变,第二半导体层(4b)有和第一应变方向相同但大小不同的第二应变。因此使第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)之间的应变差减小,由此应变超晶格结构的结晶质量得到改进。
其他摘要一种半导体器件,包含:具有表面的半导体衬底(1);由交互叠合在一起的多个第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)构成的应变超晶格结构,第一半导体层(4a)在相对于半导体衬底(1)为压缩或伸张的方向上有第一应变,第二半导体层(4b)有和第一应变方向相同但大小不同的第二应变。因此使第一半导体层(4a)和第二半导体层(4b)之间的应变差减小,由此应变超晶格结构的结晶质量得到改进。
主权项一种半导体器件,包含: 具有表面的半导体衬底(1);以及 由多个第一半导体层(4a)和多个第二半导体层(4b)交替叠合在一起构成的应变超晶格结构(4),这些第一半导体层(4a)在相对于半导体衬底(1)为压缩或伸张方向上有第一应变,这些第二半导体层(4b)有和第一应变方向相同但大小不同的第二应变。
申请日期1996-08-14
专利号CN1153411A
专利状态失效
申请号CN96111670.6
公开(公告)号CN1153411A
IPC 分类号H01S3/18
专利代理人王以平
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66918
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三菱电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
小野健一,元田隆. 半导体器件、半导体激光器和高电子迁移率晶体管. CN1153411A[P]. 1997-07-02.
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