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微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵
其他题名微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵
贾鹏; 秦莉; 宁永强; 王立军
2016-07-27
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2016-07-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵涉及半导体激光器和微透镜集成半导体激光器阵列领域,该阵列实现了高功率和低慢轴发散角自准直的高光束质量激射输出,通过集成半柱状透镜单元,大大改善了脊型半导体激光器慢轴发散角大的缺点。该激光器阵列包括:在外延片上制作出至少两个相同的、相互平行的脊型波导,和分别与一个脊型波导配对,位于脊型波导侧表面的前端透镜单元,构成至少两个慢轴自准直激光器,按照等周期排列形成列阵;脊型波导与前端透镜单元间存在距离。本发明可明显提高半导体激光器列阵器件的稳定性和复杂系统的紧凑性,同时大大降低传统光学机械系统的加工和装调成本,实现了高功率、高光束质量、单模激光输出。
其他摘要微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵涉及半导体激光器和微透镜集成半导体激光器阵列领域,该阵列实现了高功率和低慢轴发散角自准直的高光束质量激射输出,通过集成半柱状透镜单元,大大改善了脊型半导体激光器慢轴发散角大的缺点。该激光器阵列包括:在外延片上制作出至少两个相同的、相互平行的脊型波导,和分别与一个脊型波导配对,位于脊型波导侧表面的前端透镜单元,构成至少两个慢轴自准直激光器,按照等周期排列形成列阵;脊型波导与前端透镜单元间存在距离。本发明可明显提高半导体激光器列阵器件的稳定性和复杂系统的紧凑性,同时大大降低传统光学机械系统的加工和装调成本,实现了高功率、高光束质量、单模激光输出。
主权项微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵,其特征在于,该激光器阵列包括:在外延片上制作出至少两个相同的、相互平行的脊型波导,和分别与一个脊型波导配对,位于脊型波导侧表面的前端透镜单元,构成至少两个慢轴自准直激光器,按照等周期排列形成列阵;脊型波导与前端透镜单元间存在距离。
申请日期2016-04-28
专利号CN105811244A
专利状态申请中
申请号CN201610279709.9
公开(公告)号CN105811244A
IPC 分类号H01S5/40
专利代理人李青
代理机构长春菁华专利商标代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66827
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
贾鹏,秦莉,宁永强,等. 微透镜集成高光束质量半导体激光器列阵. CN105811244A[P]. 2016-07-27.
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