一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法

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	一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法
其他题名	一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法
	马欲飞; 于欣; 彭江波; 李旭东; 何应; 杨超博; 闫仁鹏; 樊荣伟; 董志伟; 陈德应
	2016-04-20
专利权人	哈尔滨工业大学
公开日期	2016-04-20
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法，所述光声光谱气体传感器由半导体激光源、光纤分束器、石英音叉、锁相放大器构成，其中：半导体激光器输出的激光束经光纤分束器分为N束激光后传输至N个石英音叉处，石英音叉将声波信号转化为电流信号传输至锁相放大器。利用其实现微量气体传感测量的方法如下：步骤一、半导体激光源发射出的激光通过光纤分束器将激光束分为N束，N>1；步骤二、待测目标气体吸收光纤分束器输出的激光能量，产生声波场，N个石英音叉接受声波信号并转化为电流信号，锁相放大器对此电流信号进行解调，反演气体浓度。本发明可以实现空间浓度场多点的同时测量，具有简单易行、可靠性高、成本低的优点。
其他摘要	本发明公开了一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法，所述光声光谱气体传感器由半导体激光源、光纤分束器、石英音叉、锁相放大器构成，其中：半导体激光器输出的激光束经光纤分束器分为N束激光后传输至N个石英音叉处，石英音叉将声波信号转化为电流信号传输至锁相放大器。利用其实现微量气体传感测量的方法如下：步骤一、半导体激光源发射出的激光通过光纤分束器将激光束分为N束，N>1；步骤二、待测目标气体吸收光纤分束器输出的激光能量，产生声波场，N个石英音叉接受声波信号并转化为电流信号，锁相放大器对此电流信号进行解调，反演气体浓度。本发明可以实现空间浓度场多点的同时测量，具有简单易行、可靠性高、成本低的优点。
主权项	一种多点测量的光声光谱气体传感器，其特征在于所述光声光谱气体传感器由半导体激光源、光纤分束器、石英音叉、锁相放大器构成，其中：半导体激光器输出的激光束经光纤分束器分为N束激光后传输至N个石英音叉处，石英音叉将声波信号转化为电流信号传输至锁相放大器。
申请日期	2015-12-25
专利号	CN105510233A
专利状态	失效
申请号	CN201510984967.2
公开（公告）号	CN105510233A
IPC 分类号	G01N21/17 \| G01N21/01
专利代理人	高媛
代理机构	哈尔滨龙科专利代理有限公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/66595
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	哈尔滨工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	马欲飞,于欣,彭江波,等. 一种多点测量的光声光谱气体传感器及测量方法. CN105510233A[P]. 2016-04-20.

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CN105510233A.PDF（254KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文