Xi'an Institute of Optics and Precision Mechanics,CAS
激光二极管用外延晶片及其制造方法 | |
其他题名 | 激光二极管用外延晶片及其制造方法 |
黑须健 | |
2009-05-06 | |
专利权人 | 住友化学株式会社 |
公开日期 | 2009-05-06 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明申请 |
摘要 | 本发明提供一种激光二极管用外延晶片,其中的p型AlGaInP包覆层中的p型载流子浓度均匀、且p型杂质的扩散少。本发明提供的激光二极管用外延晶片具有双异质结构,在n型GaAs衬底(1)上,依次至少层叠由AlGaInP系材料构成的n型包覆层(2)、活性层(3)以及p型包覆层(4),该激光二极管用外延晶片中,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层(4)中的p型杂质是碳,所述p型包覆层(4)中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。 |
其他摘要 | 本发明提供一种激光二极管用外延晶片,其中的p型AlGaInP包覆层中的p型载流子浓度均匀、且p型杂质的扩散少。本发明提供的激光二极管用外延晶片具有双异质结构,在n型GaAs衬底(1)上,依次至少层叠由AlGaInP系材料构成的n型包覆层(2)、活性层(3)以及p型包覆层(4),该激光二极管用外延晶片中,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层(4)中的p型杂质是碳,所述p型包覆层(4)中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。 |
主权项 | 激光二极管用外延晶片,其为具有双异质结构的外延晶片,即在n型GaAs衬底上依次至少层叠n型包覆层、活性层以及p型包覆层,并且所述n型包覆层、活性层以及p型包覆层均由AlGaInP系材料构成,其特征在于,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层中的p型杂质为碳,所述p型包覆层中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。 |
申请日期 | 2008-08-26 |
专利号 | CN101425658A |
专利状态 | 失效 |
申请号 | CN200810212432.3 |
公开(公告)号 | CN101425658A |
IPC 分类号 | H01S5/00 | H01S5/323 | C30B29/40 | H01L21/205 | H01L33/00 |
专利代理人 | 钟晶 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65229 |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 住友化学株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 黑须健. 激光二极管用外延晶片及其制造方法. CN101425658A[P]. 2009-05-06. |
条目包含的文件 | ||||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN101425658A.PDF(227KB) | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 |
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