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激光二极管用外延晶片及其制造方法
其他题名激光二极管用外延晶片及其制造方法
黑须健
2009-05-06
专利权人住友化学株式会社
公开日期2009-05-06
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种激光二极管用外延晶片,其中的p型AlGaInP包覆层中的p型载流子浓度均匀、且p型杂质的扩散少。本发明提供的激光二极管用外延晶片具有双异质结构,在n型GaAs衬底(1)上,依次至少层叠由AlGaInP系材料构成的n型包覆层(2)、活性层(3)以及p型包覆层(4),该激光二极管用外延晶片中,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层(4)中的p型杂质是碳,所述p型包覆层(4)中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。
其他摘要本发明提供一种激光二极管用外延晶片,其中的p型AlGaInP包覆层中的p型载流子浓度均匀、且p型杂质的扩散少。本发明提供的激光二极管用外延晶片具有双异质结构,在n型GaAs衬底(1)上,依次至少层叠由AlGaInP系材料构成的n型包覆层(2)、活性层(3)以及p型包覆层(4),该激光二极管用外延晶片中,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层(4)中的p型杂质是碳,所述p型包覆层(4)中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。
主权项激光二极管用外延晶片,其为具有双异质结构的外延晶片,即在n型GaAs衬底上依次至少层叠n型包覆层、活性层以及p型包覆层,并且所述n型包覆层、活性层以及p型包覆层均由AlGaInP系材料构成,其特征在于,所述由AlGaInP系材料构成的p型包覆层中的p型杂质为碳,所述p型包覆层中的载流子浓度在8.0×1017cm-3以上、5×1018cm-3以下的范围。
申请日期2008-08-26
专利号CN101425658A
专利状态失效
申请号CN200810212432.3
公开(公告)号CN101425658A
IPC 分类号H01S5/00 | H01S5/323 | C30B29/40 | H01L21/205 | H01L33/00
专利代理人钟晶
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/65229
专题半导体激光器专利数据库
作者单位住友化学株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
黑须健. 激光二极管用外延晶片及其制造方法. CN101425658A[P]. 2009-05-06.
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