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位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置
其他题名位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置
王涛; 赵建科; 田留德; 周艳; 潘亮; 陈琛; 段亚轩; 赵怀学
2016-03-23
专利权人中国科学院西安光学精密机械研究所
公开日期2016-03-23
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置,标定装置包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。该方法很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直,避免了因坐标系旋转而引入的测试误差,提高了PSD定位误差的测试精度。
其他摘要本发明提供一种位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置,标定装置包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。该方法很容易的调整PSD光敏面法线与电控位移台的移动方向垂直,避免了因坐标系旋转而引入的测试误差,提高了PSD定位误差的测试精度。
主权项一种位置敏感探测器定位误差的标定装置,其特征在于:包括电控平移台、单轴精密转台、用于给PSD发射光束的半导体激光器和用于夹持半导体激光器的激光夹持器;所述单轴精密转台固定于电控平移台上,单轴精密转台上放置有PSD。
申请日期2015-12-01
专利号CN105423917A
专利状态授权
申请号CN201510869406.8
公开(公告)号CN105423917A
IPC 分类号G01B11/00
专利代理人倪金荣
代理机构西安智邦专利商标代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/64947
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
第一作者单位中国科学院西安光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王涛,赵建科,田留德,等. 位置敏感探测器定位误差的标定方法及标定装置. CN105423917A[P]. 2016-03-23.
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