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一种低电压损耗半导体激光器外延结构
其他题名一种低电压损耗半导体激光器外延结构
李特; 乔忠良; 郝二娟; 李再金; 芦鹏; 曲轶; 刘国军
2016-02-10
专利权人长春理工大学
公开日期2016-02-10
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种低电压损耗半导体激光外延结构,包括:一衬底,为(100)面的N型GaAs材料,该衬底用于在其上外延生长激光器各层材料;一缓冲层,在衬底上,为N型GaAs材料;一N型下限制层,在缓冲层上,为N型稀氮In0.48Ga0.52NyP1-y材料;一下波导层,在下限制层上,为N型GaAs材料;一量子阱层,该量子阱材料为InGaAs单量子阱,制作在下波导层上;一上波导层,为P型AlGaAs材料,该上波导层在量子阱层上;一P型上限制层,在上波导层上,为P型AlGaAs材料;一过渡层,在P型上限制层上,为P型GaAs材料;一电极接触层,为P型GaAs材料,在过渡层上。其中选用稀氮In0.48Ga0.52NyP1-y/GaAs材料组合作为下限制层和波导层结构,该材料体系能够在晶格匹配的条件下,降低界面处的导带差,减小载流子传输过程中的电压损耗。
其他摘要本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种低电压损耗半导体激光外延结构,包括:一衬底,为(100)面的N型GaAs材料,该衬底用于在其上外延生长激光器各层材料;一缓冲层,在衬底上,为N型GaAs材料;一N型下限制层,在缓冲层上,为N型稀氮In0.48Ga0.52NyP1-y材料;一下波导层,在下限制层上,为N型GaAs材料;一量子阱层,该量子阱材料为InGaAs单量子阱,制作在下波导层上;一上波导层,为P型AlGaAs材料,该上波导层在量子阱层上;一P型上限制层,在上波导层上,为P型AlGaAs材料;一过渡层,在P型上限制层上,为P型GaAs材料;一电极接触层,为P型GaAs材料,在过渡层上。其中选用稀氮In0.48Ga0.52NyP1-y/GaAs材料组合作为下限制层和波导层结构,该材料体系能够在晶格匹配的条件下,降低界面处的导带差,减小载流子传输过程中的电压损耗。
主权项一种低电压损耗半导体激光器外延结构,其特征在于,包括: 一衬底,为(100)面的N型GaAs材料,该衬底用于在其上外延生长激光器各层材料; 一缓冲层,为N-GaAs材料,该缓冲层制作在衬底上; 一N型下限制层,为稀氮N-In0.48Ga0.52NyP1-y材料,该N型下限制层制作在缓冲层上; 一N型下波导层,为N-GaAs材料,该下波导层制作在下限制层上; 一量子阱层,该量子阱有源区材料为成熟的In0.2Ga0.8As,该量子阱为单量子阱,制作在下波导层上; 一P型上波导层,为P-AlGaAs材料,该上波导层制作在量子阱层上; 一P型上限制层,为P-AlGaAs材料,该P型上限制层制作在上波导层上; 一过渡层,为P-GaAs材料,该过渡层制作在P型上限制层上; 一电极接触层,为P-GaAs材料,该电极接触层制作在过渡层上。
申请日期2014-06-18
专利号CN105322440A
专利状态失效
申请号CN201410279694.7
公开(公告)号CN105322440A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63728
专题半导体激光器专利数据库
作者单位长春理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李特,乔忠良,郝二娟,等. 一种低电压损耗半导体激光器外延结构. CN105322440A[P]. 2016-02-10.
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