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一种半导体激光器以及制作方法以及设备
其他题名一种半导体激光器以及制作方法以及设备
张建伟; 宁永强; 张星; 贾鹏; 秦莉; 王立军
2017-10-27
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2017-10-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种半导体激光器以及制作方法以及设备,该半导体激光器包括:衬底;设置在衬底一侧的N面波导层;设置在衬底一侧且背离N面波导层的N面电极;设置在N面波导层一侧且背离衬底的发光区;设置在发光区一侧且背离N面波导层的P面波导层;设置在P面波导层一侧且背离发光区的P面盖层;设置在P面盖层一侧且背离P面波导层的P面电极;设置在P面盖层上且内嵌至P面电极中的电流阻挡层;其中,电流阻挡层将P面电极划分为多个电流注入区域,且电流注入区域的大小由P面电极的中间至两端逐步减小。该半导体激光器具备高输出功率以及高光束质量的特点。
其他摘要本发明公开了一种半导体激光器以及制作方法以及设备,该半导体激光器包括:衬底;设置在衬底一侧的N面波导层;设置在衬底一侧且背离N面波导层的N面电极;设置在N面波导层一侧且背离衬底的发光区;设置在发光区一侧且背离N面波导层的P面波导层;设置在P面波导层一侧且背离发光区的P面盖层;设置在P面盖层一侧且背离P面波导层的P面电极;设置在P面盖层上且内嵌至P面电极中的电流阻挡层;其中,电流阻挡层将P面电极划分为多个电流注入区域,且电流注入区域的大小由P面电极的中间至两端逐步减小。该半导体激光器具备高输出功率以及高光束质量的特点。
主权项一种半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器包括: 衬底; 设置在所述衬底一侧的N面波导层; 设置在所述衬底一侧且背离所述N面波导层的N面电极; 设置在所述N面波导层一侧且背离所述衬底的发光区; 设置在所述发光区一侧且背离所述N面波导层的P面波导层; 设置在所述P面波导层一侧且背离所述发光区的P面盖层; 设置在所述P面盖层一侧且背离所述P面波导层的P面电极; 设置在所述P面盖层上且内嵌至所述P面电极中的电流阻挡层; 其中,所述电流阻挡层将所述P面电极划分为多个电流注入区域,且所述电流注入区域的大小由所述P面电极的中间至两端逐步减小。
申请日期2017-06-30
专利号CN107302184A
专利状态授权
申请号CN201710525195.5
公开(公告)号CN107302184A
IPC 分类号H01S5/20
专利代理人王宝筠
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63708
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张建伟,宁永强,张星,等. 一种半导体激光器以及制作方法以及设备. CN107302184A[P]. 2017-10-27.
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