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一种椭圆环形窗口半导体激光器
其他题名一种椭圆环形窗口半导体激光器
晏长岭; 李鹏; 史建伟; 李雨霏; 冯源; 郝永芹; 张剑家
2016-07-20
专利权人长春理工大学
公开日期2016-07-20
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要传统的垂直腔面发射半导体激光器是完全对称的圆形,其输出光为圆形对称光束,光束不是空心的,且具有偏振不稳的状态。本发明提出一种椭圆环形窗口半导体激光器,其结构如图所示:椭圆环形窗口—1、上电极—2、欧姆接触层—3、上分布布拉格反射镜—4、氧化物限制层—5、半导体材料有源增益层—6、下分布布拉格反射镜—7、衬底—8、下电极—9,从椭圆环形窗口到有源增益层的整体结构为椭圆柱形结构,椭圆结构中长轴长度与短轴长度的比值选取范围为3:2至5:4,椭圆柱形结构的中心区域是空的,由刻蚀形成的椭圆形刻蚀区—10,刻蚀从欧姆接触层到上分布布拉格反射镜。本发明以电泵浦方式工作,在椭圆环形窗口的作用下,本发明可以出射椭圆空心光束,出射的椭圆空心光束还具良好的偏振特性,其偏振处于稳态。
其他摘要传统的垂直腔面发射半导体激光器是完全对称的圆形,其输出光为圆形对称光束,光束不是空心的,且具有偏振不稳的状态。本发明提出一种椭圆环形窗口半导体激光器,其结构如图所示:椭圆环形窗口—1、上电极—2、欧姆接触层—3、上分布布拉格反射镜—4、氧化物限制层—5、半导体材料有源增益层—6、下分布布拉格反射镜—7、衬底—8、下电极—9,从椭圆环形窗口到有源增益层的整体结构为椭圆柱形结构,椭圆结构中长轴长度与短轴长度的比值选取范围为3:2至5:4,椭圆柱形结构的中心区域是空的,由刻蚀形成的椭圆形刻蚀区—10,刻蚀从欧姆接触层到上分布布拉格反射镜。本发明以电泵浦方式工作,在椭圆环形窗口的作用下,本发明可以出射椭圆空心光束,出射的椭圆空心光束还具良好的偏振特性,其偏振处于稳态。
主权项一种椭圆环形窗口半导体激光器,其特征在于椭圆环形窗口、上电极、欧姆接触层、上分布布拉格反射镜、氧化物限制层、半导体材料有源增益层、下分布布拉格反射镜、衬底、下电极,从椭圆环形窗口到有源增益区的半导体整体为椭圆柱形结构,在椭圆柱形结构的外边墙与上电极之间有电绝缘层。
申请日期2015-07-08
专利号CN105790069A
专利状态失效
申请号CN201510396482.1
公开(公告)号CN105790069A
IPC 分类号H01S5/10
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63579
专题半导体激光器专利数据库
作者单位长春理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
晏长岭,李鹏,史建伟,等. 一种椭圆环形窗口半导体激光器. CN105790069A[P]. 2016-07-20.
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