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布拉格反射波导GaSb基半导体激光器
其他题名布拉格反射波导GaSb基半导体激光器
佟存柱; 戎佳敏; 汪丽杰; 邢恩博; 田思聪; 刘云; 王立军
2015-03-11
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2015-03-11
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提供一种布拉格反射波导GaSb基半导体激光器,该激光器由下至上依次包括:n面电极、GaSb衬底、下限制层、下波导层、第一中心腔、第二中心腔、上波导层、上限制层、盖层和p面电极,第一中心腔和第二中心腔内设有有源层;下波导层包括多对n型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜;上波导层包括多对p型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜。本发明利用布拉格反射波导限制光场分布,可有效改善传统GaSb基边发射半导体激光器端面灾变性毁坏、烧空、电热烧毁和光束成丝等效应,提高激光机的光束质量,有效的降低了垂直发散角,其横向远场发散角半高全宽可达到10°以下。
其他摘要本发明提供一种布拉格反射波导GaSb基半导体激光器,该激光器由下至上依次包括:n面电极、GaSb衬底、下限制层、下波导层、第一中心腔、第二中心腔、上波导层、上限制层、盖层和p面电极,第一中心腔和第二中心腔内设有有源层;下波导层包括多对n型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜;上波导层包括多对p型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜。本发明利用布拉格反射波导限制光场分布,可有效改善传统GaSb基边发射半导体激光器端面灾变性毁坏、烧空、电热烧毁和光束成丝等效应,提高激光机的光束质量,有效的降低了垂直发散角,其横向远场发散角半高全宽可达到10°以下。
主权项一种布拉格反射波导GaSb基半导体激光器,该激光器由下至上依次包括:n面电极(1)、GaSb衬底(2)、下限制层(3)、下波导层、第一中心腔(6)、第二中心腔(8)、上波导层、上限制层(11)、盖层(12)和p面电极(12);所述的第一中心腔(6)和第二中心腔(8)内设有有源层(7);其特征在于,所述的下波导层包括多对n型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜;所述的上波导层包括多对p型掺杂的高、低折射率材料层周期交替生长的布拉格反射镜。
申请日期2014-07-18
专利号CN104409965A
专利状态失效
申请号CN201410345364.3
公开(公告)号CN104409965A
IPC 分类号H01S5/22
专利代理人陶尊新
代理机构长春菁华专利商标代理事务所
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/63386
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
佟存柱,戎佳敏,汪丽杰,等. 布拉格反射波导GaSb基半导体激光器. CN104409965A[P]. 2015-03-11.
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