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気体中微量物質の濃度測定方法
其他题名気体中微量物質の濃度測定方法
佐々田 博之; 高 暁明; 吉田 尚弘
2006-02-23
专利权人独立行政法人科学技術振興機構
公开日期2006-02-23
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 試料気体中の微量物質の濃度を、装置コストを高くすることなく、且つ、ppm以下の濃度を高精度で測定できる、光共振器吸収セルの透過光スペクトルの半値幅を使用した気体中微量物質の濃度測定方法を提供する。 【解決手段】 試料気体を導入した光共振器吸収セル1に、連続波レーザー光3を入力し、連続波レーザー光3の周波数を掃引すると共に、掃引する各々の周波数に光共振器吸収セル1が共振するように共振器長Lを調節して透過光4の強度を測定し、透過光強度4の最小値を与える周波数に共振する共振器長Lで、上記周波数を中心周波数として周波数掃引して試料気体の透過光スペクトル8を求め、透過光スペクトル8の半値幅と共振器干渉スペクトルの半値幅とから試料気体に含まれる被測定物質の濃度を求める。 【選択図】 図1
其他摘要微量物质浓度的样本气体中,在不增加装置成本,而且,以下浓度ppm的能以高的精度测量,利用光学共振器吸收单元的气体的透过光光谱的半值宽度提供一种介质微量物质浓度测量方法。 一
主权项-
申请日期2004-08-09
专利号JP2006052955A
专利状态失效
申请号JP2004232793
公开(公告)号JP2006052955A
IPC 分类号G01N21/39 | G01J3/42 | G01N21/35 | G01N21/3518
专利代理人平山 一幸 | 海津 保三
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62494
专题半导体激光器专利数据库
作者单位独立行政法人科学技術振興機構
推荐引用方式
GB/T 7714
佐々田 博之,高 暁明,吉田 尚弘. 気体中微量物質の濃度測定方法. JP2006052955A[P]. 2006-02-23.
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JP2006052955A.PDF(146KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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