准分子激光处理装置及其激光收集装置

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	准分子激光处理装置及其激光收集装置
其他题名	准分子激光处理装置及其激光收集装置
	何伟铭
	2019-05-31
专利权人	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
公开日期	2019-05-31
授权国家	世界知识产权组织
专利类型	发明申请
摘要	公开了一种准分子激光处理装置及其激光收集装置。激光收集装置包括设于激光器（L）出射光路上远离激光器的第一反射镜（1）、设于激光器出射光路上靠近激光器的第二反射镜（2）以及设于激光器出射光路外的第一反射镜组（3）；第一反射镜接收激光器发出的光线并反射至第一反射镜组，经第一反射镜组反射的光线射出至第二反射镜，第二反射镜朝向背离激光器的方向倾斜，将从第一反射镜组射入的光线反射至待激光处理的对象（P）表面。通过设置对未射到待激光处理的对象表面的激光进行收集的激光收集装置，将未被利用的光线进行收集并再投射到待激光处理的对象表面进行二次利用，提高了激光的光线利用率，降低了生产成本。
其他摘要	公开了一种准分子激光处理装置及其激光收集装置。激光收集装置包括设于激光器（L）出射光路上远离激光器的第一反射镜（1）、设于激光器出射光路上靠近激光器的第二反射镜（2）以及设于激光器出射光路外的第一反射镜组（3）；第一反射镜接收激光器发出的光线并反射至第一反射镜组，经第一反射镜组反射的光线射出至第二反射镜，第二反射镜朝向背离激光器的方向倾斜，将从第一反射镜组射入的光线反射至待激光处理的对象（P）表面。通过设置对未射到待激光处理的对象表面的激光进行收集的激光收集装置，将未被利用的光线进行收集并再投射到待激光处理的对象表面进行二次利用，提高了激光的光线利用率，降低了生产成本。
主权项	一种准分子激光处理装置的激光收集装置，其中，包括设于激光器出射光路上远离激光器的第一反射镜、设于激光器出射光路上靠近激光器的第二反射镜以及设于激光器出射光路外的第一反射镜组，所述第一反射镜设于激光器的出射光的辐射范围边缘，用于接收激光器发出的光线，并将接收的光线射出至所述第一反射镜组，经所述第一反射镜组反射的光线射出至所述第二反射镜，所述第二反射镜朝向背离激光器的方向倾斜，将从所述第一反射镜组射入的光线反射至待激光处理的对象表面。
申请日期	2017-11-29
专利号	WO2019100422A1
专利状态	未确认
申请号	PCT/CN2017/113519
公开（公告）号	WO2019100422A1
IPC 分类号	H01S3/00 \| H01S5/00 \| B23K26/00 \| H01L21/00
专利代理人	深圳市铭粤知识产权代理有限公司
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62334
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	何伟铭. 准分子激光处理装置及其激光收集装置. WO2019100422A1[P]. 2019-05-31.