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面発光レーザ、面発光レーザアレイ、レーザ装置、点火装置、及び内燃機関
其他题名面発光レーザ、面発光レーザアレイ、レーザ装置、点火装置、及び内燃機関
原田 慎一; 泉谷 一磨; 軸谷 直人
2017-01-19
专利权人株式会社リコー
公开日期2017-01-19
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】傾斜基板を用いつつ、断面形状が等方的な光を射出することができる面発光レーザを提供する。 【解決手段】 発光部は、基板、バッファ層、下部半導体DBR、下部スペーサ層、活性層、上部スペーサ層、上部半導体DBR、コンタクト層、保護膜、上部電極、下部電極などを有している。基板は、基板表面の法線方向が、結晶方位[1 0 0]方向に対して、結晶方位[1 1 1]A方向に向かって15度傾斜した傾斜基板である。また、発光部のメサ構造体は六角柱状であり、該メサ構造体の横断面形状である六角形を構成する3組の対向する2辺のうち、一の組の対向する2辺が基板の傾斜方向に平行である。この場合は、酸化狭窄構造における非酸化領域の形状が六角形となり、断面形状が等方的な光を射出することができる。 【選択図】図5
其他摘要要解决的问题:提供一种表面发射激光器,其能够在使用倾斜基板的同时发射具有截面形状的各向同性光。 发光单元包括基板,缓冲层,下半导体DBR,下间隔层,有源层,上间隔层,上半导体DBR,接触层,保护膜,上电极,下电极等。在基板中,基板表面的法线方向对应于晶体取向[10]0]朝向晶体方向倾斜15度的方向[1 1 1] A方向。此外,光发射部分的台面结构是六角棱镜,双方之间3对相对构成六边形是台面结构的横截面形状,在基板的两侧上的一组相对它与倾斜方向平行。在这种情况下,氧化的收缩结构中的非氧化区域具有六边形形状,并且可以发射具有各向同性截面形状的光。
主权项-
申请日期2015-07-07
专利号JP2017017296A
专利状态授权
申请号JP2015135807
公开(公告)号JP2017017296A
IPC 分类号H01S5/183 | H01S5/42 | F02P23/04
专利代理人立石 篤司
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/62040
专题半导体激光器专利数据库
作者单位株式会社リコー
推荐引用方式
GB/T 7714
原田 慎一,泉谷 一磨,軸谷 直人. 面発光レーザ、面発光レーザアレイ、レーザ装置、点火装置、及び内燃機関. JP2017017296A[P]. 2017-01-19.
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