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生长半导体纳米线的方法
其他题名生长半导体纳米线的方法
查尔斯·M·利伯; 崔屹; 段镶锋; 黄昱
2010-08-11
专利权人哈佛学院董事会
公开日期2010-08-11
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本申请涉及生长半导体纳米线的方法,所述方法通过催化剂胶体颗粒催化生长半导体纳米线,每个所述半导体纳米线均具有最小宽度小于500纳米的至少一个部分,选择催化剂胶体颗粒以具有小于约20%的直径变化,使得根据该方法制造的一组半导体纳米线的直径变化小于20%。
其他摘要本申请涉及生长半导体纳米线的方法,所述方法通过催化剂胶体颗粒催化生长半导体纳米线,每个所述半导体纳米线均具有最小宽度小于500纳米的至少一个部分,选择催化剂胶体颗粒以具有小于约20%的直径变化,使得根据该方法制造的一组半导体纳米线的直径变化小于20%。
主权项一种方法,所述方法包括: 由直径变化小于约20%的催化剂胶体颗粒催化生长一组半导体纳米线,每个所述半导体纳米线均具有最小宽度小于500纳米的至少一个部分,选择所述催化剂胶体颗粒以使得根据该方法制造的一组半导体纳米线的直径变化小于20%。
申请日期2001-08-22
专利号CN101798057A
专利状态失效
申请号CN200910205893.2
公开(公告)号CN101798057A
IPC 分类号B82B3/00 | B82B1/00 | H01L21/335 | H01L21/77 | H01L21/329 | H01L29/861 | H01L33/00 | H01L29/88 | H01L29/872 | H01L21/331 | H01L29/73 | H01L21/8239 | H01L27/105 | H01L21/82 | H01L27/24 | H01S5/00 | H01L31/18 | H01L31/102 | H01L31/101 | H01L31/042 | H01L27/00 | H01L25/00 | C30B11/00 | C30B25/00 | G01N27/12 | G01N27/414 | G01N33/543 | G11C13/02 | H01L23/532 | H01L27/10 | H01L29/06 | H01L29/207 | H01L29/267 | H01L33/06 | H01L33/18 | H01L51/00 | H01L51/30
专利代理人顾晋伟 | 王春伟
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60706
专题半导体激光器专利数据库
作者单位哈佛学院董事会
推荐引用方式
GB/T 7714
查尔斯·M·利伯,崔屹,段镶锋,等. 生长半导体纳米线的方法. CN101798057A[P]. 2010-08-11.
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