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半導体レーザ素子、その製造方法及び光ディスク装置
其他题名半導体レーザ素子、その製造方法及び光ディスク装置
菅原 岳; 木戸口 勲; 宮永 良子; 鈴木 政勝; 粂 雅博; 伴 雄三郎; 平山 福一
2001-08-17
专利权人松下電器産業株式会社
公开日期2001-08-17
授权国家日本
专利类型发明申请
摘要【課題】 半導体レーザ素子の高出力化又は短波長化に対応できる端面反射膜を得られるようにする。 【解決手段】 半導体レーザ素子10には、窒化ガリウムからなる障壁層と窒化インジウムガリウムからなる井戸層とにより構成される量子井戸活性層11が少なくともn型とp型の各窒化アルミニウムガリウムからなる光ガイド層に上下方向から挟まれてなる共振器12が形成されている。共振器12におけるレーザ光100の出射端面10aと反対側の反射端面10bには端面反射膜13が設けられている。端面反射膜13は、共振器12の端面側から順次成膜された酸化シリコンからなる低屈折率膜13aと酸化ニオブからなる高屈折率膜13bとにより構成される単位反射膜130を複数含むように構成されている。
其他摘要获得能够应对半导体激光器件的更高输出或更短波长的端面反射膜。 解决方案:在半导体激光器件10中,至少在n型和p型氮化铝镓的光上形成由氮化镓制成的阻挡层和由氮化铟镓制成的阱层构成的量子阱有源层11。并且形成在垂直方向上夹在引导层之间的谐振器12。端面反射膜13设置在反射器12中与激光100的发射端面10a相对的一侧上的反射端面10b上。端面反射膜13包括由氧化硅制成的低折射率膜13a构成的多个单元反射膜130和由谐振器12的端面侧依次形成的由氧化铌制成的高折射率膜13b。它被配置。
主权项-
申请日期2000-11-28
专利号JP2001223428A
专利状态授权
申请号JP2000361161
公开(公告)号JP2001223428A
IPC 分类号H01S5/028 | G11B7/125
专利代理人前田 弘 (外7名)
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/60547
专题半导体激光器专利数据库
作者单位松下電器産業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
菅原 岳,木戸口 勲,宮永 良子,等. 半導体レーザ素子、その製造方法及び光ディスク装置. JP2001223428A[P]. 2001-08-17.
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