雷射加工裝置

OPT OpenIR > 半导体激光器专利数据库

	雷射加工裝置
其他题名	雷射加工裝置
	小田切航; 根橋功一; 柯威喬爾; 大久保廣成; 築地修一郎; 大庭龍吾; 小田中健太郎
	2016-08-16
专利权人	迪思科股份有限公司
公开日期	2016-08-16
授权国家	中国台湾
专利类型	发明申请
摘要	本發明的課題為提供一雷射加工裝置，可監視以雷射光線照射部件照射的雷射光線之輸出的變化及雷射光線的照射位置。解決手段為雷射加工裝置的雷射光線照射部件包含：脈衝雷射振盪器；聚光器，可將脈衝雷射光線聚光並向保持於工作夾台的被加工物照射；二向分光鏡，配設於脈衝雷射振盪器與聚光器之間；頻閃光照射部件，可將光照射到二向分光鏡與聚光器之路徑；光束分離器，配設於頻閃光照射部件與二向分光鏡之間；及拍攝部件，配設於被光束分離器分歧後的路徑上。控制部件會配合以脈衝雷射振盪器所振盪產生並且向保持於工作夾台的被加工物照射的脈衝雷射光線的時機，來作動頻閃光照射部件與拍攝部件，並根據來自拍攝部件的圖像信號來檢測加工狀態。
其他摘要	本發明的課題為提供一雷射加工裝置，可監視以雷射光線照射部件照射的雷射光線之輸出的變化及雷射光線的照射位置。解決手段為雷射加工裝置的雷射光線照射部件包含：脈衝雷射振盪器；聚光器，可將脈衝雷射光線聚光並向保持於工作夾台的被加工物照射；二向分光鏡，配設於脈衝雷射振盪器與聚光器之間；頻閃光照射部件，可將光照射到二向分光鏡與聚光器之路徑；光束分離器，配設於頻閃光照射部件與二向分光鏡之間；及拍攝部件，配設於被光束分離器分歧後的路徑上。控制部件會配合以脈衝雷射振盪器所振盪產生並且向保持於工作夾台的被加工物照射的脈衝雷射光線的時機，來作動頻閃光照射部件與拍攝部件，並根據來自拍攝部件的圖像信號來檢測加工狀態。
主权项	-
申请日期	2015-10-30
专利号	TW201630287A
专利状态	授权
申请号	TW104135799
公开（公告）号	TW201630287A
IPC 分类号	H01S5/026 \| H01L21/301
专利代理人	惲軼群
代理机构	-
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57469
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	迪思科股份有限公司
推荐引用方式 GB/T 7714	小田切航,根橋功一,柯威喬爾,等. 雷射加工裝置. TW201630287A[P]. 2016-08-16.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
TW201630287A.PDF（1174KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文