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可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器
其他题名可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器
不公告发明人
2018-12-11
专利权人上海砺晟光电技术有限公司
公开日期2018-12-11
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明提出一种可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器,主要包括:激光二极管、发射镜组、接收镜组、光电器件、处理电路等。其特征是,所述的发射镜组并非产生一束激光束,而是能够产生多束对称而且均匀分布的平行激光束。所述的发射镜组由整形镜、准直镜、分束镜、聚焦镜组成,整形镜将激光二极管发出的发散光束整形为汇聚光束,准直镜将汇聚后的激光束变为准直激光束,分束镜将一束激光束分为多束对称而均匀分布的发射激光束,聚焦镜将多束发散的激光束变为平行的激光束。所述的光电器件不是线阵器件,而是面阵器件。该激光位移传感器可以有效抑制传感器横向移动与倾斜对位移测量精度的影响,满足曲面目标位移测量的要求。
其他摘要本发明提出一种可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器,主要包括:激光二极管、发射镜组、接收镜组、光电器件、处理电路等。其特征是,所述的发射镜组并非产生一束激光束,而是能够产生多束对称而且均匀分布的平行激光束。所述的发射镜组由整形镜、准直镜、分束镜、聚焦镜组成,整形镜将激光二极管发出的发散光束整形为汇聚光束,准直镜将汇聚后的激光束变为准直激光束,分束镜将一束激光束分为多束对称而均匀分布的发射激光束,聚焦镜将多束发散的激光束变为平行的激光束。所述的光电器件不是线阵器件,而是面阵器件。该激光位移传感器可以有效抑制传感器横向移动与倾斜对位移测量精度的影响,满足曲面目标位移测量的要求。
主权项一种可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器,主要包括:激光二极管、发射镜组、接收镜组、光电器件、处理电路等;本发明的激光位移传感器的特征是,所述的发射镜组并非产生一束激光束,而是能够产生多束对称而且均匀分布的平行激光束。
申请日期2017-06-01
专利号CN108981585A
专利状态申请中
申请号CN201710402275.1
公开(公告)号CN108981585A
IPC 分类号G01B11/03
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57207
专题半导体激光器专利数据库
作者单位上海砺晟光电技术有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
不公告发明人. 可精确测量曲面目标位移的激光位移传感器. CN108981585A[P]. 2018-12-11.
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文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
CN108981585A.PDF(580KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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