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一种激光二极管及其制备方法
其他题名一种激光二极管及其制备方法
雷双瑛; 郭斯佳; 沈海云
2018-11-30
专利权人东南大学
公开日期2018-11-30
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种激光二极管及其制备方法,所述二极管由下至上依次包括:下电极(1)、衬底(2)、下包覆层(3)、有源层(4)、上包覆层(5)和上电极(6);其制备方法如下:1)在干净的硅衬底(2)上表面沉积下包覆层(3);2)在下包覆层(3)上表面沉积有源层(4);3)在有源层(4)上表面沉积上包覆层(5);4)在上包覆层(5)上表面蒸镀一层金属层,作为上电极(6);在硅衬底(2)的下表面蒸镀一层金属层,作为下电极(1)。该激光二极管具有氮化硼‑八磷化二钾异质结,不仅表现出较高的效率,而且其结构稳定,工作时间长,不易退化失效,制备工艺更简单。
其他摘要本发明公开了一种激光二极管及其制备方法,所述二极管由下至上依次包括:下电极(1)、衬底(2)、下包覆层(3)、有源层(4)、上包覆层(5)和上电极(6);其制备方法如下:1)在干净的硅衬底(2)上表面沉积下包覆层(3);2)在下包覆层(3)上表面沉积有源层(4);3)在有源层(4)上表面沉积上包覆层(5);4)在上包覆层(5)上表面蒸镀一层金属层,作为上电极(6);在硅衬底(2)的下表面蒸镀一层金属层,作为下电极(1)。该激光二极管具有氮化硼‑八磷化二钾异质结,不仅表现出较高的效率,而且其结构稳定,工作时间长,不易退化失效,制备工艺更简单。
主权项一种激光二极管,其特征在于:该激光二极管含有氮化硼-八磷化二钾异质结,其结构包括硅衬底(2),在硅衬底(2)的上表面设置有下包覆层(3),包覆层(3)的上表面沉积有有源层(4),有源层(4)上表面沉积有上包覆层(5),在上包覆层(5)的上表面蒸镀金属层作为上电极(6),在硅衬底(2)的下表面蒸镀有金属层作为下电极(1)。
申请日期2018-06-13
专利号CN108923257A
专利状态申请中
申请号CN201810606843.4
公开(公告)号CN108923257A
IPC 分类号H01S5/32 | H01S5/34
专利代理人柏尚春
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57174
专题半导体激光器专利数据库
作者单位东南大学
推荐引用方式
GB/T 7714
雷双瑛,郭斯佳,沈海云. 一种激光二极管及其制备方法. CN108923257A[P]. 2018-11-30.
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