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非对称模式扩展小发散角半导体激光器
其他题名非对称模式扩展小发散角半导体激光器
熊迪; 谭满清; 郭文涛; 曹营春; 赵亚利
2018-11-27
专利权人中国科学院半导体研究所
公开日期2018-11-27
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要一种非对称模式扩展小发散角半导体激光器,包括:衬底;缓冲层,形成于衬底之上;模式扩展层,形成于缓冲层之上;空间层,形成于模式扩展层之上;N型限制层,形成于空间层之上;下波导层,形成于N型限制层上;有源区,形成于下波导层上;上波导层,形成于有源区上;P型限制层,形成于上波导层上,与所述N型限制层的制备材料的掺杂浓度和厚度不同;第一上盖层,形成于P型限制层上;第二上盖层,形成于第一上盖层之上;第三上盖层,形成于第二上盖层上;以及欧姆接触层,形成于第三上盖层之上,通过上述非对称模式扩展小发散角半导体激光器以缓解现有技术中激光器输出光斑质量差,耦合效率低,损耗大,整形难等技术问题。
其他摘要一种非对称模式扩展小发散角半导体激光器,包括:衬底;缓冲层,形成于衬底之上;模式扩展层,形成于缓冲层之上;空间层,形成于模式扩展层之上;N型限制层,形成于空间层之上;下波导层,形成于N型限制层上;有源区,形成于下波导层上;上波导层,形成于有源区上;P型限制层,形成于上波导层上,与所述N型限制层的制备材料的掺杂浓度和厚度不同;第一上盖层,形成于P型限制层上;第二上盖层,形成于第一上盖层之上;第三上盖层,形成于第二上盖层上;以及欧姆接触层,形成于第三上盖层之上,通过上述非对称模式扩展小发散角半导体激光器以缓解现有技术中激光器输出光斑质量差,耦合效率低,损耗大,整形难等技术问题。
主权项一种非对称模式扩展小发散角半导体激光器,包括: 衬底(1); 缓冲层(2),形成于衬底(1)之上; 模式扩展层(3),形成于缓冲层(2)之上; 空间层(4),形成于模式扩展层(3)之上; N型限制层(5),形成于空间层(4)之上; 下波导层(6),形成于N型限制层(5)上; 有源区(7),形成于下波导层(6)上; 上波导层(8),形成于有源区(7)上; P型限制层(9),形成于上波导层(8)上,与所述N型限制层(5)的制备材料的掺杂浓度和厚度不同; 第一上盖层(10),形成于P型限制层(9)上; 第二上盖层(11),形成于第一上盖层(10)之上; 第三上盖层(12),形成于第二上盖层(11)上;以及 欧姆接触层(13),形成于第三上盖层(12)之上。
申请日期2018-07-12
专利号CN108899761A
专利状态申请中
申请号CN201810763094.6
公开(公告)号CN108899761A
IPC 分类号H01S5/20
专利代理人李坤
代理机构中科专利商标代理有限责任公司
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57165
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
熊迪,谭满清,郭文涛,等. 非对称模式扩展小发散角半导体激光器. CN108899761A[P]. 2018-11-27.
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