一种输出空心光束的激光器及其制作方法

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	一种输出空心光束的激光器及其制作方法
其他题名	一种输出空心光束的激光器及其制作方法
	韩峰; 张祥伟; 吴玲玲; 陶禹; 郭荣礼; 刘宝元; 陈靖; 聂亮
	2018-10-16
专利权人	西安工业大学
公开日期	2018-10-16
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种输出空心光束的激光器及其制作方法，该激光器包括由下至上依次布设的半导体衬底、缓冲层、N型分布式布拉格反射镜层、有源区、第一高铝层、电流引导层、第二高铝层和P型分布式布拉格反射镜层，所述第一高铝层的圆周边缘设置有第一氧化限制层，所述第二高铝层的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层和P面电极；该方法包括以下步骤：一、半导体激光器芯片的生长；二、氧化限制层的制作；三、P面电极制作；四、刻蚀孔的形成；五、N面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小，使得电流载流子汇集在有源区的圆周边缘，实现空心光束的输出，不要安装其他的光学器件，实用性强。
其他摘要	本发明公开了一种输出空心光束的激光器及其制作方法，该激光器包括由下至上依次布设的半导体衬底、缓冲层、N型分布式布拉格反射镜层、有源区、第一高铝层、电流引导层、第二高铝层和P型分布式布拉格反射镜层，所述第一高铝层的圆周边缘设置有第一氧化限制层，所述第二高铝层的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层和P面电极；该方法包括以下步骤：一、半导体激光器芯片的生长；二、氧化限制层的制作；三、P面电极制作；四、刻蚀孔的形成；五、N面电极的制作。本发明结构简单、设计合理且体积小，使得电流载流子汇集在有源区的圆周边缘，实现空心光束的输出，不要安装其他的光学器件，实用性强。
主权项	一种输出空心光束的激光器，其特征在于：包括由下至上依次布设的半导体衬底(9)、缓冲层(11)、N型分布式布拉格反射镜层(8)、有源区(7)、第一高铝层(2-1)、电流引导层(5)、第二高铝层(2-2)和P型分布式布拉格反射镜层(1)，所述第一高铝层(2-1)的圆周边缘设置有第一氧化限制层(6)，所述第二高铝层(2-2)的圆周边缘由内至外依次设置有第二氧化限制层(3)和P面电极(4)，所述P型分布式布拉格反射镜层(1)的上表面设置有刻蚀孔(12)，所述半导体衬底(9)底面圆周边缘设置有N面电极(10)，所述刻蚀孔(12)的深度小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的厚度，所述P面电极(4)和N面电极(10)的横截面均为环形，所述刻蚀孔(12)的孔径小于P型分布式布拉格反射镜层(1)的直径。
申请日期	2018-07-31
专利号	CN108666867A
专利状态	申请中
申请号	CN201810855766.6
公开（公告）号	CN108666867A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/187 \| H01S5/32
专利代理人	谭文琰
代理机构	西安创知专利事务所
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/57048
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	西安工业大学
推荐引用方式 GB/T 7714	韩峰,张祥伟,吴玲玲,等. 一种输出空心光束的激光器及其制作方法. CN108666867A[P]. 2018-10-16.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108666867A.PDF（475KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文