激光器准直装置及准直方法

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	激光器准直装置及准直方法
其他题名	激光器准直装置及准直方法
	郑翔; 赵柏秦
	2018-09-07
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2018-09-07
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	一种针对半导体激光器阵列的准直装置包括：调节台和探测设备，通过调节台调节，包括XYZ三维位移调节和三维旋转台调节光纤柱透镜和激光光源相对位置，通过探测设备观察远场光斑确定柱透镜最佳准直位置，最后用紫外固化胶点胶，将光纤柱透镜固定在激光器模块上。还提供一种应用上述装置进行激光准直的方法。本发明的准直装置和方法使得准直方法的位移精度可达0.01mm，角度精度可达0.1°，且设备制作安装简便，操作简单。
其他摘要	一种针对半导体激光器阵列的准直装置包括：调节台和探测设备，通过调节台调节，包括XYZ三维位移调节和三维旋转台调节光纤柱透镜和激光光源相对位置，通过探测设备观察远场光斑确定柱透镜最佳准直位置，最后用紫外固化胶点胶，将光纤柱透镜固定在激光器模块上。还提供一种应用上述装置进行激光准直的方法。本发明的准直装置和方法使得准直方法的位移精度可达0.01mm，角度精度可达0.1°，且设备制作安装简便，操作简单。
主权项	一种激光器准直装置，其特征在于包括：调节台，包括激光器调节单元和光纤柱透镜调节单元，其中，所述激光器调节单元包括升降台、第一平移台、第二平移台、旋转台和激光器固定模块；所述激光器固定模块装配于旋转台上，用于固定所述激光器管芯阵列；所述旋转台配置为可绕竖直方向Z轴旋转；所述第一平移台和第二平移台装配于旋转台下方，配置为在水平面内分别沿X轴和Y轴移动，所述X轴、Y轴和Z轴互相垂直；所述升降台装配于第一平移台和第二平移台下方，配置为沿Z轴方向移动；所述光纤柱透镜调节单元包括第一回转台、第二回转台、光纤固定支架和光纤夹具；所述光纤夹具与所述光纤固定支架，用于固定光纤柱透镜，所述光纤柱透镜用于准直所述激光器管芯阵列；所述光纤固定支架装配于第一回转台和第二回转台上，所述第一回转台和第二回转台配置为分别绕X轴和Y轴旋转；探测设备，设置于激光器管芯阵列发出的出射光一侧，用于表征所述激光器经光纤柱透镜准直状态。
申请日期	2017-02-24
专利号	CN108508617A
专利状态	申请中
申请号	CN201710105865.8
公开（公告）号	CN108508617A
IPC 分类号	G02B27/30
专利代理人	任岩
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56977
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	郑翔,赵柏秦. 激光器准直装置及准直方法. CN108508617A[P]. 2018-09-07.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN108508617A.PDF（857KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文