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一种M型渐变波导半导体激光器结构
其他题名一种M型渐变波导半导体激光器结构
李林; 曾丽娜; 赵志斌; 李再金; 李特; 曲轶; 张铁民; 彭鸿雁
2018-01-12
专利权人海南师范大学
公开日期2018-01-12
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明属于半导体光电子技术领域,涉及一种M型渐变波导半导体激光器结构,在衬底层上由下至上依次包括:衬底(1),缓冲层(2),Si掺杂下限制层(3),M型渐变下波导层(4),下势垒层(5),有源区(6),上势垒层(7),M型渐变上波导层(8),Zn掺杂上限制层(9),欧姆接触层(10)。通过上述方式,本发明设计了一种新型的外延结构,引入了一种M型渐变波导层结构来降低激光器的阈值电流密度和远场垂直发散角。
其他摘要本发明属于半导体光电子技术领域,涉及一种M型渐变波导半导体激光器结构,在衬底层上由下至上依次包括:衬底(1),缓冲层(2),Si掺杂下限制层(3),M型渐变下波导层(4),下势垒层(5),有源区(6),上势垒层(7),M型渐变上波导层(8),Zn掺杂上限制层(9),欧姆接触层(10)。通过上述方式,本发明设计了一种新型的外延结构,引入了一种M型渐变波导层结构来降低激光器的阈值电流密度和远场垂直发散角。
主权项一种M型渐变波导半导体激光器结构,其特征在于,在衬底层上由下至上依次包括:衬底(1),缓冲层(2),Si掺杂下限制层(3),M型渐变下波导层(4),下势垒层(5),有源区(6),上势垒层(7),M型渐变上波导层(8),Zn掺杂上限制层(9),欧姆接触层(10)。
申请日期2017-10-23
专利号CN107579431A
专利状态申请中
申请号CN20171098934X
公开(公告)号CN107579431A
IPC 分类号H01S5/343
专利代理人-
代理机构-
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56597
专题半导体激光器专利数据库
作者单位海南师范大学
推荐引用方式
GB/T 7714
李林,曾丽娜,赵志斌,等. 一种M型渐变波导半导体激光器结构. CN107579431A[P]. 2018-01-12.
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CN107579431A.PDF(136KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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