一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法

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	一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法
其他题名	一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法
	宋国峰; 蔡利康; 王青; 陈良惠
	2010-11-17
专利权人	中国科学院半导体研究所
公开日期	2010-11-17
授权国家	中国
专利类型	发明申请
摘要	本发明公开了一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法，该方法包括：在垂直腔面发射激光器出光腔面生长一层增透膜；在该增透膜上镀一层金属膜；腐蚀掉出光腔面以外的增透膜和金属膜；在出光腔面的金属膜上制备亚波长光栅。利用本发明，工艺成熟，可操作性强，可重复性好，器件成品率高，同时VCSEL尺寸较小，阈值较低，便于二维集成，金属亚波长光栅的偏振选择性好，可以提供更好的偏振抑制，实现稳定偏振输出的VCSEL阵列。
其他摘要	本发明公开了一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法，该方法包括：在垂直腔面发射激光器出光腔面生长一层增透膜；在该增透膜上镀一层金属膜；腐蚀掉出光腔面以外的增透膜和金属膜；在出光腔面的金属膜上制备亚波长光栅。利用本发明，工艺成熟，可操作性强，可重复性好，器件成品率高，同时VCSEL尺寸较小，阈值较低，便于二维集成，金属亚波长光栅的偏振选择性好，可以提供更好的偏振抑制，实现稳定偏振输出的VCSEL阵列。
主权项	一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法，其特征在于，该方法包括：在垂直腔面发射激光器出光腔面生长一层增透膜；在该增透膜上镀一层金属膜；腐蚀掉出光腔面以外的增透膜和金属膜；在出光腔面的金属膜上制备亚波长光栅。
申请日期	2010-06-02
专利号	CN101888058A
专利状态	失效
申请号	CN201010196119.2
公开（公告）号	CN101888058A
IPC 分类号	H01S5/183 \| H01S5/10
专利代理人	周国城
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/56538
专题	半导体激光器专利数据库
作者单位	中国科学院半导体研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	宋国峰,蔡利康,王青,等. 一种制备具有稳定偏振输出的垂直腔面发射激光器的方法. CN101888058A[P]. 2010-11-17.

条目包含的文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
CN101888058A.PDF（382KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	请求全文