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半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置
其他题名半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置
高静; 田玉冰; 陈建生; 姚文明; 王鹏; 檀慧明
2019-08-09
专利权人中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
公开日期2019-08-09
授权国家中国
专利类型发明申请
摘要本发明公开了一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置,包括:N个合束子系统以及用于将N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对;合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜;光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅。本发明先利用外腔与半导体激光器后腔面组成外腔半导体激光器,使不同的合束单元锁定在不同的波长,再利用光栅的色散作用,将各个半导体激光叠阵发出的激光束在空间重叠成一束输出,能在提升输出功率的同时保持良好的光束质量水平,这样合束之后的光束质量得到了极大的改善,实现了高功率高光束质量的合束输出。
其他摘要本发明公开了一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置,包括:N个合束子系统以及用于将N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对;合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜;光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅。本发明先利用外腔与半导体激光器后腔面组成外腔半导体激光器,使不同的合束单元锁定在不同的波长,再利用光栅的色散作用,将各个半导体激光叠阵发出的激光束在空间重叠成一束输出,能在提升输出功率的同时保持良好的光束质量水平,这样合束之后的光束质量得到了极大的改善,实现了高功率高光束质量的合束输出。
主权项一种半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置,其特征在于,包括:N个合束子系统以及用于将所述N个合束子系统输出的子光束进行合束的光栅对; 所述合束子系统包括半导体激光叠阵以及沿所述半导体激光叠阵的出射光的光路方向依次设置的快轴准直镜、慢轴准直镜、变换透镜、第一光栅和输出镜; 所述光栅对包括相互平行设置的第二光栅和第三光栅; 所述半导体激光叠阵发出的光依次经过所述快轴准直镜、慢轴准直镜后,通过所述变换透镜转换成不同的入射角度投射到所述第一光栅上,不同叠层的出射光经所述第一光栅衍射后以相同的衍射角度合束形成子光束,再经所述输出镜输出到所述第二光栅;N个合束子系统的输出的子光束均入射到所述第二光栅,再入射到所述第三光栅的相同位置上产生重叠,经所述第三光栅衍射后以相同的出射角度合束输出。
申请日期2019-04-25
专利号CN110109259A
专利状态申请中
申请号CN201910340977.0
公开(公告)号CN110109259A
IPC 分类号G02B27/10 | H01S5/00
专利代理人韩飞
代理机构北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
文献类型专利
条目标识符http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/55430
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
高静,田玉冰,陈建生,等. 半导体激光高光束质量高功率输出的合束装置. CN110109259A[P]. 2019-08-09.
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